j****n
发帖数: 3465 | 1 最近做工艺做得很烦，我用Au etchant洗掉GaAs衬底上的p电极（）时，发现有些地方
好象是被腐蚀了，但不敢确定，特地上来请教一下前辈们，Au etchant是不是attack
GaAs啊？谢了！ |
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e********t
发帖数: 9607 | 2 试试盐酸。homedepot或者lowes里面卖瓷砖地方有heavy duty grout etchant能溶解
grout的。注意保护好金属部件。 |
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s******p
发帖数: 4962 | 3 有没有wet etch TaN的etchant？ |
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s*******r
发帖数: 921 | 4 It has to be etched by wet etchant if it is used as metal gate. Just google
it. |
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j******h
发帖数: 308 | 5 Au etchant 的selectivity 一般是对PR或者其他的metal而言吧
对半导体应该是腐蚀的
如果衬底够厚，而且是平的，可以直接polish |
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j****n
发帖数: 3465 | 6 我以前是做InP的，用Au etchant的时候都没发现腐蚀半导体的问题，这次做GaAs麻烦
大了。 |
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j*******8
发帖数: 4 | 7 想要wet etch 在玻璃上的ITO，etchant 应该是HCl, 但不知道具体与H2O的比率是多少
？etching rate 是多少？温度有没有限制？是否也etch玻璃.
如果大侠有更好的recipe就更好了．
谢谢 |
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