s*****e
发帖数: 172 | 1 请问各位大侠，
如何才能够在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔阿？
有啥好的重复率高的技术吗？
多谢！ |
f*******e
发帖数: 628 | 2 有那种 nanoindenter, 可以有 diamond 的探头，应该可以重复的打出小坑，大小取决
于使用的探头的形状和大小和压力。
【在 s*****e 的大作中提到】
: 请问各位大侠，
: 如何才能够在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔阿？
: 有啥好的重复率高的技术吗？
: 多谢！
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w********h
发帖数: 12367 | 3 注意：玻璃片阿。。。
【在 f*******e 的大作中提到】
: 有那种 nanoindenter, 可以有 diamond 的探头，应该可以重复的打出小坑，大小取决
: 于使用的探头的形状和大小和压力。
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s*****e
发帖数: 172 | |
f*******e
发帖数: 628 | 5 呵呵，不是有 diamond 的钻头么，我假设可以用在玻璃上。
不过要穿孔的话大概不行。浇铸玻璃的时候用个模子？
【在 w********h 的大作中提到】
: 注意：玻璃片阿。。。
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s**********x
发帖数: 4593 | 6 photolithography搞出一层模板，用HF etch
最后把模板去掉 |
k*******n
发帖数: 2399 | 7 他那玩意那么厚，孔小于一个um，aspect ratio太高。会不会很难etch。
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【在 s**********x 的大作中提到】
: photolithography搞出一层模板，用HF etch
: 最后把模板去掉
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s**********x
发帖数: 4593 | 8 会
友情请教etch工程师怎么办才好
顺便请回我的站内信啊
哥
【在 k*******n 的大作中提到】
: 他那玩意那么厚，孔小于一个um，aspect ratio太高。会不会很难etch。
:
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k*******n
发帖数: 2399 | 9 Glass很难etch，impedence大，rf freq 很高才行。而且楼主这aspect ratio比很
challenging的tsv, NAND还难，wet etch根本不可能做到。烦请楼主做到通告小弟学习
一下。
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【在 s**********x 的大作中提到】
: 会
: 友情请教etch工程师怎么办才好
: 顺便请回我的站内信啊
: 哥
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s*****e
发帖数: 172 | |
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k*******n
发帖数: 2399 | 11 化学方法不可能，用金刚钻吧。
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【在 s*****e 的大作中提到】
: 有谁能够提供一些文献或是信息链接吗？
: 多谢！
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e****e
发帖数: 2740 | 12 同求，沈老师威武
【在 k*******n 的大作中提到】
: Glass很难etch，impedence大，rf freq 很高才行。而且楼主这aspect ratio比很
: challenging的tsv, NAND还难，wet etch根本不可能做到。烦请楼主做到通告小弟学习
: 一下。
:
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r******0
发帖数: 2753 | 13 就算你的玻璃片比纸还薄，那aspect ratio也实在太大了，直接etch或者钻空都是不可
能的。说说你打完孔要做啥吧，在玻璃或者Si wafer上做些直径200um，长度个把毫米
的孔也不是很难，关键是看你下一步要用它干啥。
【在 s*****e 的大作中提到】
: 这种小孔最好是穿透的。
: 多谢！
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s*****e
发帖数: 172 | 14 就是做一个通道，用来让纳米粒子通过，但是每次只通过一个粒子。 |
k*******n
发帖数: 2399 | 15 I am afraid that etching this microchannel in glass is very costly and seems
to be unrealistic for your project.
【在 s*****e 的大作中提到】
: 就是做一个通道，用来让纳米粒子通过，但是每次只通过一个粒子。
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s**********x
发帖数: 4593 | 16 search nanopore
【在 s*****e 的大作中提到】
: 就是做一个通道，用来让纳米粒子通过，但是每次只通过一个粒子。
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r******0
发帖数: 2753 | 17 这种纳米通道，十年前就有人做过了，从sub-10一直到hundreds nanometers。这是一
篇４年前的，从大到小的通道都有。
http://austingroup.princeton.edu/sites/default/files/Sub-10-nm-
【在 s*****e 的大作中提到】
: 就是做一个通道，用来让纳米粒子通过，但是每次只通过一个粒子。
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