S*******r 发帖数: 275 | 1 【 以下文字转载自 NanoST 讨论区 】
发信人: Sunbuster (紫外线), 信区: NanoST
标 题: 玻璃上的半透明金属薄膜厚度如何测量??
发信站: BBS 未名空间站 (Tue Feb 5 15:59:50 2013, 美东)
transparent thin film (maybe amorphous / crystalline) grown on amorphous
glass substrate, how do I get the thickness besides TEM, SEM? |
w*******8 发帖数: 865 | 2 roughness test by profilometer? If any glass surface is not covered. |
y*****s 发帖数: 1047 | |
R*****2 发帖数: 427 | 4 被你抢先了……
【在 y*****s 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : ellipsometer?
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p*****e 发帖数: 152 | |
w*******8 发帖数: 865 | 6 Learnt. Thanks
【在 y*****s 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : ellipsometer?
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d*******n 发帖数: 1566 | 7 google "x-ray reflectiviy". u should see top result about thickness and
roughness measurements. and it's non-destructive method.
【在 S*******r 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : 【 以下文字转载自 NanoST 讨论区 】 : 发信人: Sunbuster (紫外线), 信区: NanoST : 标 题: 玻璃上的半透明金属薄膜厚度如何测量?? : 发信站: BBS 未名空间站 (Tue Feb 5 15:59:50 2013, 美东) : transparent thin film (maybe amorphous / crystalline) grown on amorphous : glass substrate, how do I get the thickness besides TEM, SEM?
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j********1 发帖数: 628 | 8 用一般的子外可见分光光度计测个透射,反射谱就可以,软件拟和。 |
S*******r 发帖数: 275 | 9 【 以下文字转载自 NanoST 讨论区 】
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标 题: 玻璃上的半透明金属薄膜厚度如何测量??
发信站: BBS 未名空间站 (Tue Feb 5 15:59:50 2013, 美东)
transparent thin film (maybe amorphous / crystalline) grown on amorphous
glass substrate, how do I get the thickness besides TEM, SEM? |
w*******8 发帖数: 865 | 10 roughness test by profilometer? If any glass surface is not covered. |
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y*****s 发帖数: 1047 | |
R*****2 发帖数: 427 | 12 被你抢先了……
【在 y*****s 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : ellipsometer?
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p*****e 发帖数: 152 | |
w*******8 发帖数: 865 | 14 Learnt. Thanks
【在 y*****s 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : ellipsometer?
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d*******n 发帖数: 1566 | 15 google "x-ray reflectiviy". u should see top result about thickness and
roughness measurements. and it's non-destructive method.
【在 S*******r 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : 【 以下文字转载自 NanoST 讨论区 】 : 发信人: Sunbuster (紫外线), 信区: NanoST : 标 题: 玻璃上的半透明金属薄膜厚度如何测量?? : 发信站: BBS 未名空间站 (Tue Feb 5 15:59:50 2013, 美东) : transparent thin film (maybe amorphous / crystalline) grown on amorphous : glass substrate, how do I get the thickness besides TEM, SEM?
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j********1 发帖数: 628 | 16 用一般的子外可见分光光度计测个透射,反射谱就可以,软件拟和。 |
s********n 发帖数: 235 | 17 测个sheet resistance,然后用该金属的bulk resistivity除以sheet resistance就是
金属膜厚度 |