请问静电驱动系统中的一个扭矩,电容和电压关系式的适用性 - EE版 - 未名存档

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EE版 - 请问静电驱动系统中的一个扭矩,电容和电压关系式的适用性

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d*******2
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一篇MEMS的论文中说，对一个静电驱动系统，扭矩总是由这个一般表达式给出
T(sita)=1/2 *pC/p(sita) *V^2。
请问这个公式是有什么限制吗？公式可以针对任意结构的静电驱动系统吗？什么教科书
中可以找到这个公式的由来？
先谢了！

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