请问一个分辨率公式中的CD是什么意思？ - EE版 - 未名存档

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EE版 - 请问一个分辨率公式中的CD是什么意思？

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g******s 发帖数: 733	1 光刻机分辨率为 CD=0.75{sqrt[Lambda(d/2)]}。请问这个CD是什么的缩写？先谢了！
x****g 发帖数: 2000	2 crititcal dimension 【在 g*****s 的大作中提到】 : 光刻机分辨率为 : CD=0.75{sqrt[Lambda*(d/2)]}。 : 请问这个CD是什么的缩写？ : 先谢了！
g******s 发帖数: 733	3 非常感谢！请问你知道这个公式的出处或原理吗？这个公式是接触式光刻机的CD。【在 x****g 的大作中提到】 : crititcal dimension

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