w********o
发帖数: 10088 | 1 要做Hall, 用一个很简单的shadow mask（不锈钢片上面几个眼），放在GaAs HEMT样品
上（有n-type cap layer的），扔到evaporator里面deposit金属contact，拿出来
anneal以后，发现sheet resistance降了10倍。charge变大，mobility变小
表面很干净，只有四个角上有金属。你们说这是为什么，神马反应能让sheet
resistance降10倍？难道以前有10倍的dopant都没有激活？不可能啊 |
S****d
发帖数: 298 | 2 不懂，帮顶。都是低温下测的？杂质有没有扩散到深处去？
【在 w********o 的大作中提到】
: 要做Hall, 用一个很简单的shadow mask（不锈钢片上面几个眼），放在GaAs HEMT样品
: 上（有n-type cap layer的），扔到evaporator里面deposit金属contact，拿出来
: anneal以后，发现sheet resistance降了10倍。charge变大，mobility变小
: 表面很干净，只有四个角上有金属。你们说这是为什么，神马反应能让sheet
: resistance降10倍？难道以前有10倍的dopant都没有激活？不可能啊
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g******u
发帖数: 3060 | 3 you just found a super-conductive material? |
w********o
发帖数: 10088 | 4 不是。都是常温
就算扩散也出不来这个效果啊
【在 S****d 的大作中提到】
: 不懂，帮顶。都是低温下测的？杂质有没有扩散到深处去？
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w********o
发帖数: 10088 | 5 下一步打算直接退火。然后做contact在表面。看看是不是退火的原因
【在 g******u 的大作中提到】
: you just found a super-conductive material?
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e******g
发帖数: 461 | 6 你做的什么金属contact? AuGe？退火多少度？原来是n-type吧，doping多少？
【在 w********o 的大作中提到】
: 下一步打算直接退火。然后做contact在表面。看看是不是退火的原因
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b*******h
发帖数: 2585 | 7 没有看懂，什么东西的ＳＨＥＥＴＲＥＳＩＳＴＡＮＣＥ降了十倍？ |
r******o
发帖数: 1851 | 8 对，你的contact是什么金属，退火温度，时间，和气氛都很关键。有可能扩散或者反
应 |
w********o
发帖数: 10088 | 9 Auge ni au
400度退火
InGaAs channel
n-type. 1e13 量级dope
【在 e******g 的大作中提到】
: 你做的什么金属contact? AuGe？退火多少度？原来是n-type吧，doping多少？
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w********o
发帖数: 10088 | 10 退火5分钟
N2气氛
你一说我想起来了。有次我用furnace退3分半,不太好。在退3分半就出现这种sheet
resistance降低的情况。AuGe能扩散的这么厉害？10mmx10mm的样品，contact在四个角上
【在 r******o 的大作中提到】
: 对，你的contact是什么金属，退火温度，时间，和气氛都很关键。有可能扩散或者反
: 应
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S****d
发帖数: 298 | 11 会不会是parallel conduction？
角上
【在 w********o 的大作中提到】
: 退火5分钟
: N2气氛
: 你一说我想起来了。有次我用furnace退3分半,不太好。在退3分半就出现这种sheet
: resistance降低的情况。AuGe能扩散的这么厉害？10mmx10mm的样品，contact在四个角上
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w********o
发帖数: 10088 | 12 不大可能。衬底是绝缘的。表面干净，也用盐酸洗过了
【在 S****d 的大作中提到】
: 会不会是parallel conduction？
:
: 角上
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H*****l
发帖数: 702 | 13 我赌SIMS可以看到Au
角上
【在 w********o 的大作中提到】
: 退火5分钟
: N2气氛
: 你一说我想起来了。有次我用furnace退3分半,不太好。在退3分半就出现这种sheet
: resistance降低的情况。AuGe能扩散的这么厉害？10mmx10mm的样品，contact在四个角上
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w********o
发帖数: 10088 | 14 展开说说？
【在 H*****l 的大作中提到】
: 我赌SIMS可以看到Au
:
: 角上
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H*****l
发帖数: 702 | 15 小硕士不懂science
感觉是这样XD
【在 w********o 的大作中提到】
: 展开说说？
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w********o
发帖数: 10088 | 16 今天重新试了一下，deposit完金属，sheet resistance 就从85降到30了，anneal 1.5
分钟后，降到7。 见鬼了 |
n******g
发帖数: 536 | |
e******g
发帖数: 461 | 18 AuGe may diffuse, try RTA in high Vac or Ar within 30s. Also if it's more
than
53% In InGaAs, you can use even lower temp. Send me a note if you want to
discuss in details, I may be able to help.
【在 w********o 的大作中提到】
: Auge ni au
: 400度退火
: InGaAs channel
: n-type. 1e13 量级dope
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m*******e
发帖数: 639 | 19 在这问，还不如多拿两个样品用不同退火条件测试一下，用EDS看成分有何不同，多试
两次应该能摸出规律。
.5
【在 w********o 的大作中提到】
: 今天重新试了一下，deposit完金属，sheet resistance 就从85降到30了，anneal 1.5
: 分钟后，降到7。 见鬼了
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w********o
发帖数: 10088 | 20 多谢多谢，我好想找到问题了。明天再做一轮，不对的话再找你请教！
【在 e******g 的大作中提到】
: AuGe may diffuse, try RTA in high Vac or Ar within 30s. Also if it's more
: than
: 53% In InGaAs, you can use even lower temp. Send me a note if you want to
: discuss in details, I may be able to help.
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b*******h
发帖数: 2585 | 21 how was the RS measured? just two electrodes?
.5
【在 w********o 的大作中提到】
: 今天重新试了一下，deposit完金属，sheet resistance 就从85降到30了，anneal 1.5
: 分钟后，降到7。 见鬼了
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z*******r
发帖数: 113 | 22 你没有deposit contact的时候，sheet resistance怎么测的？
四探针？ |
H*****l
发帖数: 702 | 23 Mercury Four Point Probe?
【在 z*******r 的大作中提到】
: 你没有deposit contact的时候，sheet resistance怎么测的？
: 四探针？
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