AlN上面做lithography用什么developer？ - EE版 - 未名存档

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EE版 - AlN上面做lithography用什么developer？

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相关话题的讨论汇总
话题: aln话题: developer

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t********t 发帖数: 22	1 要在AlN上面做pattern镀东西，但是发现很多developer都会顺便etch AlN，不知道各位有没有过类似的经验能指点指点呢？多谢啦
w********o 发帖数: 10088	2 AlN质量太差了吧你自己deposit一层SiN再做etch吧【在 t********t 的大作中提到】 : 要在AlN上面做pattern镀东西，但是发现很多developer都会顺便etch AlN，不知道各 : 位有没有过类似的经验能指点指点呢？多谢啦
t********t 发帖数: 22	3 恩，AlN不是single crystal。暂时看来只能用hard mask了，但是我比较担心最后etch SiN的时候又会破坏AlN，因为实在太薄了【在 w********o 的大作中提到】 : AlN质量太差了吧 : 你自己deposit一层SiN再做etch吧
w********o 发帖数: 10088	4 一路干刻下去 etch 【在 t********t 的大作中提到】 : 恩，AlN不是single crystal。暂时看来只能用hard mask了，但是我比较担心最后etch : SiN的时候又会破坏AlN，因为实在太薄了

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● 请教职业方向	● 思想压力好大,有前辈指点一下吗?关于转方向
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