求助：寻找MIT XeF2(Xenon Difluoride)etching工具 - Engineering版 - 未名存档

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Engineering版 - 求助：寻找MIT XeF2(Xenon Difluoride)etching工具

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d****t
发帖数: 2

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那位大虾知道MIT哪个研究所或研究组有XeF2(Xenon Difluoride)etching工具？我实验
中需要把silicon腐蚀掉，形成一个SiO2的membrane. 万分感谢

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