一个silvaco athena的问题 - Engineering版

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Engineering版 - 一个silvaco athena的问题

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o**n
发帖数: 1249

【以下文字转载自 EE 讨论区】
发信人: oIin (olin|mMITogether), 信区: EE
标题: 一个silvaco athena的问题
发信站: BBS 未名空间站 (Tue Mar 23 19:58:11 2010, 美东)
我想simulate一个SOI的process，什么办法最方便construct一个SOI呢？比如说1um Si
on SiO2，因为device都在1um Si上，自然想用从Si作为最初的材料，这让容易设grid
，但底下的SiO2怎么加上去呢？deposit命令只能在上面加material吧。多谢帮助！

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