Questions regarding 纳米加工技术 - Engineering版

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Engineering版 - Questions regarding 纳米加工技术

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i*****l
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哪位大虾米能提供些参考关于以下两个问题：
1)目前的纳米加工技术可以达到多少精度 (in order of nm) ?
2) 美国那个机构或者大学有最先进的纳米加工技术？
本人在1997年的一篇文章中看到 in situ monitoring system 能够帮助控制 film 精度
到 20nm 。不知现在能到什么地步？plasma-itching 这样的技术是否能达到更高的精度
，只要有合适的 monitoring system ?
dao sxie zai !

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