如何在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔？ (转载) - Faculty版 - 未名存档

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Faculty版 - 如何在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔？ (转载)

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s*****e 发帖数: 172	1 【以下文字转载自 Chemistry 讨论区】发信人: suntree (小明), 信区: Chemistry 标题: 如何在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔？发信站: BBS 未名空间站 (Wed Apr 25 02:34:51 2012, 美东) 请问各位大侠，如何才能够在玻璃片上制作一些200nm左右的小孔阿？有啥好的重复率高的技术吗？多谢！
b**y 发帖数: 94	2 e-beam lithography + DRIE

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