c***r
发帖数: 4631 | |
m********5
发帖数: 17667 | 2 我觉得E-Beam算正道吧
虽然可能速度上应该还是无法和EUV比，但是成品率可能比EUV高。
而且再往下走也只能E-Beam
【在 c***r 的大作中提到】
: http://confidential.eetimes.com/news-updates/4229742/IMEC-s-E-B
: 都开始找后路了。
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c***r
发帖数: 4631 | 3 不过EUV现在一小时能出5-6个300mm wafer，E-beam……5-6天能出一个300mm wafer。
但愿有新技术吧。 |
r******s
发帖数: 925 | 4 盯着CYMI吧，现在整个semiconductor产业都在为it的谎言遮掩
哪天大佬们商量好了，就找个机会告诉大家真相，结果就是....
不知道大佬们现在还在等什么，几十个亿的钱投下去，估计假帐还没做好
还是Nikon聪明？还是大佬不带她玩了，早早的就脱离了EUV这滩浑水
【在 c***r 的大作中提到】
: http://confidential.eetimes.com/news-updates/4229742/IMEC-s-E-B
: 都开始找后路了。
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c***r
发帖数: 4631 | 5 有没有人懂这玩意在这儿灌？请教一下这光源有没有希望啊？一个工厂架一个小同步辐
射光源好像也不是特别贵吧？ |
h****x
发帖数: 1450 | 6 还没什么突破吧
【在 c***r 的大作中提到】
: 有没有人懂这玩意在这儿灌？请教一下这光源有没有希望啊？一个工厂架一个小同步辐
: 射光源好像也不是特别贵吧？
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