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发信人: hhcare (龙龙), 信区: Military
标 题: 大过年的给大家普及一下如何做EUV光刻机， 国内的听好了。。
发信站: BBS 未名空间站 (Fri Dec 24 22:16:31 2021, 美东)
EUV光刻机看起来啥都难，光源， STEPPER/Projector， 照明系统， stages， FRAMEs
都不容易。。 因为需要精确， 功率大， 重， 温差， 污染， 等等。。
但是做起来不难。 比如温度吧， 就是控制， 加上材料，污染吧， 就是如何减小，
只要有一台慢慢摸索都不难。。 难就难在光源和projector系统。
projector， 现在是0.33， 很大很重。 将来的0.5更大更重， 所以简单点摸索阶段做
0.2的就可以了， 熟悉的都知道是NA, 小一下啥都容易了. 应该四个mirro设计就可以
了。
光源其实国内挖回去人不少， 不难。 只要不是找骗子就行了， 就是laser produced
plasma， 需要的是控制， 功率。。 当然还有很多可以优化的地方。。
做光刻机需要很多很多人。 目前不是要追上外国。 而是把台子搭起来， 弄几个桶都
行， 大家摆弄一下， 管道， 真空， 想一想。。 真心不难， 需要的是情怀， 想把
它做好就行了。 国内所谓的挖人不行， 得靠人多， 给人家前途， 才会有希望。 挖
几个大牛顶屁用。。 得要敢动手的。
至于精确控制方面找日本比较合适，欧洲人都不会帮中国人的。 一衣带水。。 |
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