叶片泵Turbo pump能达到多高的真空度？ - ME版 - 未名存档

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ME版 - 叶片泵Turbo pump能达到多高的真空度？

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J*******3 发帖数: 1651	1 Turbo pump能达到多高的真空度？一个Turbo pump真空泵通过一个门阀直接接到测试腔室，　假设该腔室气密性非常好，没有丝毫泄漏，　真空度最高能达到多少？该测试腔室下面连着离子泵，　如果门阀很完美，　能保证不漏，　为什么关了离子泵后测试腔室得压力会升高？
f***s 发帖数: 68	2 1e-6。 1e-8 mbar

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