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w********h
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1
用来做高分子均匀膜,
一般大家都是要多大的substrate,做的膜厚度在什么范围,转速的范围是多少?
thanks!
s****e
发帖数: 2934
2
主要看你要做哪些表征。比如AFM只要很小的substrate。
我们实验室用的是headway research Inc的photoresist spinner。转速最高一般用
3500,它实际应该比3500大。厚度嘛,要看溶液的浓度和转速了。和wafer接触的那部
分是可以换的,有的可以转很大的wafer,有的只能转很小的。我们实验室就能转很小
的,大到8inch的。隔壁实验室只能转1×1cm2.他们的是可以换的那种,他们把可以换
的底座弄丢了。
【在 w********h 的大作中提到】
: 用来做高分子均匀膜,
: 一般大家都是要多大的substrate,做的膜厚度在什么范围,转速的范围是多少?
: thanks!
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