一个全新的技术领域——微机电系统（ＭＥＭＳ）(z) - Macromolecules版

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Macromolecules版 - 一个全新的技术领域——微机电系统（ＭＥＭＳ）(z)

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w********h
发帖数: 12367

一个全新的技术领域——微机电系统（ＭＥＭＳ）
微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微小型化革命，以加工微米／纳米结构
和系统为目的的微米／纳米技术（Ｍｉｃｒｏ／ＮａｎｏＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）在此
背景下应运而生。一方面人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来，形成具有一定功
能的微米／纳米结构；另一方面人们利用精细加工手段加工出微米／纳米级结构。前者导
致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生，后者则在小型机械制造领域开始了一场新
的革命，导致了微机电系统（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙ
ｓｔｅｍｓ，ＭＥＭＳ）的诞生。
微电子机械系统是微电子技术的拓宽和延伸，它将微电子技术和精密机械加工技术相
互融合，实现了微电子与机械融为一体的系统。
ＭＥＭＳ技术的发展开辟了的技术一个全新领域和产业。它们具有许多传统传感器无
法比拟的优点，因此在航空、航天、汽车、生物医学、环境监控、军事以及几乎人们接触
到的所有领域中都有着十分广阔的应用前景。
ＭＥＭＳ技术及其产品正在迅速增长，预计到２０００年，全世界ＭＥＭＳ的市场将
达到１２０至１４０亿美元，而带来的与之相关的市场将达到１

a***n
发帖数: 578

构
此
功
导
新
ｙ
相
无
触
将
^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^^
why I heard is different? Only widely commerialized MEMS products are car
collision sensor. This is bullshit or what?
热
电
接
器
（
为
（
则
感
件
本
镊
大

【在 w********h 的大作中提到】

: 一个全新的技术领域——微机电系统（ＭＥＭＳ）
: 微电子技术的巨大成功在许多领域引发了一场微小型化革命，以加工微米／纳米结构
: 和系统为目的的微米／纳米技术（Ｍｉｃｒｏ／ＮａｎｏＴｅｃｈｎｏｌｏｇｙ）在此
: 背景下应运而生。一方面人们利用物理化学方法将原子和分子组装起来，形成具有一定功
: 能的微米／纳米结构；另一方面人们利用精细加工手段加工出微米／纳米级结构。前者导
: 致了纳米生物学、纳米化学等边缘学科的产生，后者则在小型机械制造领域开始了一场新
: 的革命，导致了微机电系统（ＭｉｃｒｏＥｌｅｃｔｒｏＭｅｃｈａｎｉｃａｌＳｙ
: ｓｔｅｍｓ，ＭＥＭＳ）的诞生。
: 微电子机械系统是微电子技术的拓宽和延伸，它将微电子技术和精密机械加工技术相
: 互融合，实现了微电子与机械融为一体的系统。

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