y***e
发帖数: 6082 | 1 这几天一直在做SEM，基本掌握了技术，但什么重复做也做不出来同样样品的文献那么漂
亮的图，就不知道哪些SEM怎么就照得那么精细，这里熟悉SEM的大哥请指教一二吧，到
底除了调整分辨率，黑白，对比度，聚焦以外，还有哪些会影响成像啊，比如电压什么
的，这几天狂郁闷，整个就呆在电镜房子里面在微观世界抓虾！ | b***e
发帖数: 115 | 2 饱和点也很重要的
【在 y***e 的大作中提到】
: 这几天一直在做SEM，基本掌握了技术，但什么重复做也做不出来同样样品的文献那么漂
: 亮的图，就不知道哪些SEM怎么就照得那么精细，这里熟悉SEM的大哥请指教一二吧，到
: 底除了调整分辨率，黑白，对比度，聚焦以外，还有哪些会影响成像啊，比如电压什么
: 的，这几天狂郁闷，整个就呆在电镜房子里面在微观世界抓虾！
| b**m
发帖数: 18 | 3
漂
Coating is important. Also, the microscopy can be much sharper when printed on
glassy paper than shown on screen.
【在 y***e 的大作中提到】
: 这几天一直在做SEM，基本掌握了技术，但什么重复做也做不出来同样样品的文献那么漂
: 亮的图，就不知道哪些SEM怎么就照得那么精细，这里熟悉SEM的大哥请指教一二吧，到
: 底除了调整分辨率，黑白，对比度，聚焦以外，还有哪些会影响成像啊，比如电压什么
: 的，这几天狂郁闷，整个就呆在电镜房子里面在微观世界抓虾！
| l*****o
发帖数: 82 | 4 SEM的亮度和对比度决定的是你能从机器获得的数据中得到多少数据,而机器本身所能获得
的数据(图像)这是由成像质量决定的.
扫描电镜的像质主要由聚焦程度和焦点形状决定。如果电子束不能形成完美的圆锥体,
那焦点就不是一个电子光学系统能够形成的最小的圆点。而且在略大于或略小于焦距
的地方电子束是椭圆形。这就是所谓的Astigmatism（像散）起源。没有调好像散
的电镜图像往往比较模糊，或者在一个方向模糊另一个方向清晰。
另外，不知道你用的电镜能不能调透镜和样品的距离。电镜分辨率的极限决定于电镜的
数值孔径。简单的说就是和聚焦电子束的圆锥角成正比。（当然前提是你已经把焦点现
状和焦距调准了) 所以为了获得最高的分辨率, 因该令样品尽量靠近电子透镜. 当然
如果不能实时调这个距离的话, 最简单的办法就是(在电镜允许的工作距离范围内)垫
高样品.
至于电压的作用就比较复杂了. 扫描电镜探测的是样品的二次电子. 而电子束打在样品
上还会发生背闪射. 这两种电子的产率都和电压有关, 但同时又和材料有关. 建议沿用
你们实验室常用的参数. 比方说我们组观察镀金的聚合物或无机半导体表面时就用6千伏,
这
【在 y***e 的大作中提到】
: 这几天一直在做SEM，基本掌握了技术，但什么重复做也做不出来同样样品的文献那么漂
: 亮的图，就不知道哪些SEM怎么就照得那么精细，这里熟悉SEM的大哥请指教一二吧，到
: 底除了调整分辨率，黑白，对比度，聚焦以外，还有哪些会影响成像啊，比如电压什么
: 的，这几天狂郁闷，整个就呆在电镜房子里面在微观世界抓虾！
| y***e
发帖数: 6082 | 5 非常感谢，建议版主m上
【在 l*****o 的大作中提到】
: SEM的亮度和对比度决定的是你能从机器获得的数据中得到多少数据,而机器本身所能获得
: 的数据(图像)这是由成像质量决定的.
: 扫描电镜的像质主要由聚焦程度和焦点形状决定。如果电子束不能形成完美的圆锥体,
: 那焦点就不是一个电子光学系统能够形成的最小的圆点。而且在略大于或略小于焦距
: 的地方电子束是椭圆形。这就是所谓的Astigmatism（像散）起源。没有调好像散
: 的电镜图像往往比较模糊，或者在一个方向模糊另一个方向清晰。
: 另外，不知道你用的电镜能不能调透镜和样品的距离。电镜分辨率的极限决定于电镜的
: 数值孔径。简单的说就是和聚焦电子束的圆锥角成正比。（当然前提是你已经把焦点现
: 状和焦距调准了) 所以为了获得最高的分辨率, 因该令样品尽量靠近电子透镜. 当然
: 如果不能实时调这个距离的话, 最简单的办法就是(在电镜允许的工作距离范围内)垫
| b**s
发帖数: 589 | 6 Mark, heihei,
As a BF, I don't know how to mark, frustrated
获得
,
【在 y***e 的大作中提到】
: 非常感谢，建议版主m上
| r*y
发帖数: 706 | 7 use telnet to login. Then you can mark by "m".
【在 b**s 的大作中提到】
: Mark, heihei,
: As a BF, I don't know how to mark, frustrated
:
: 获得
: ,
| a***u
发帖数: 9 | 8 I suspect that the instrument in your lab is not very good. I know nothing
about SEM, especially compared to lorenzo. But there is a very nice SEM
intrument in our building. And I can easily resolve feature size as small as
7nm. Before I used this instrument, my impression was that SEM can not resolve
features smaller than 20 nm, which is about the best you can do with E-beam
lithography. So if you want to improve the quality of the image, the easiest
solution is to find a better SEM machine.
得
【在 l*****o 的大作中提到】
: SEM的亮度和对比度决定的是你能从机器获得的数据中得到多少数据,而机器本身所能获得
: 的数据(图像)这是由成像质量决定的.
: 扫描电镜的像质主要由聚焦程度和焦点形状决定。如果电子束不能形成完美的圆锥体,
: 那焦点就不是一个电子光学系统能够形成的最小的圆点。而且在略大于或略小于焦距
: 的地方电子束是椭圆形。这就是所谓的Astigmatism（像散）起源。没有调好像散
: 的电镜图像往往比较模糊，或者在一个方向模糊另一个方向清晰。
: 另外，不知道你用的电镜能不能调透镜和样品的距离。电镜分辨率的极限决定于电镜的
: 数值孔径。简单的说就是和聚焦电子束的圆锥角成正比。（当然前提是你已经把焦点现
: 状和焦距调准了) 所以为了获得最高的分辨率, 因该令样品尽量靠近电子透镜. 当然
: 如果不能实时调这个距离的话, 最简单的办法就是(在电镜允许的工作距离范围内)垫
| l*****o
发帖数: 82 | 9 一份很好的SEM入门教材:
http://www.cnf.cornell.edu/nanocourses/CNFNanoCoursesSection4.pdf
从１６页开始看吧．
当然，要更详细的可以去看JEOL的A Guide to Scanning Microscope Observation.
原来在JEOL的网上能看到，现在网页改过了，就不知道哪里还有．
【在 l*****o 的大作中提到】
: SEM的亮度和对比度决定的是你能从机器获得的数据中得到多少数据,而机器本身所能获得
: 的数据(图像)这是由成像质量决定的.
: 扫描电镜的像质主要由聚焦程度和焦点形状决定。如果电子束不能形成完美的圆锥体,
: 那焦点就不是一个电子光学系统能够形成的最小的圆点。而且在略大于或略小于焦距
: 的地方电子束是椭圆形。这就是所谓的Astigmatism（像散）起源。没有调好像散
: 的电镜图像往往比较模糊，或者在一个方向模糊另一个方向清晰。
: 另外，不知道你用的电镜能不能调透镜和样品的距离。电镜分辨率的极限决定于电镜的
: 数值孔径。简单的说就是和聚焦电子束的圆锥角成正比。（当然前提是你已经把焦点现
: 状和焦距调准了) 所以为了获得最高的分辨率, 因该令样品尽量靠近电子透镜. 当然
: 如果不能实时调这个距离的话, 最简单的办法就是(在电镜允许的工作距离范围内)垫
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