s*******n
发帖数: 121 | 1 【 以下文字转载自 Chemistry 讨论区,原文如下 】
发信人: shanshicn (zz), 信区: Chemistry
标 题: 那些溶剂可以除去polymer coating?
发信站: Unknown Space - 未名空间 (Wed May 4 22:39:30 2005) WWW-POST
我有一个silicon sample,表面有层polymer coating (PDDA),试了methanol,acetone 还
有piranha etch，都不行，大家一般常用什么呢？多谢。 | c*s
发帖数: 2145 | 2 oxygon plasma?
还
【在 s*******n 的大作中提到】
: 【 以下文字转载自 Chemistry 讨论区,原文如下 】
: 发信人: shanshicn (zz), 信区: Chemistry
: 标 题: 那些溶剂可以除去polymer coating?
: 发信站: Unknown Space - 未名空间 (Wed May 4 22:39:30 2005) WWW-POST
: 我有一个silicon sample,表面有层polymer coating (PDDA),试了methanol,acetone 还
: 有piranha etch，都不行，大家一般常用什么呢？多谢。
| p******s
发帖数: 137 | 3 you can not burn it?
还
【在 s*******n 的大作中提到】
: 【 以下文字转载自 Chemistry 讨论区,原文如下 】
: 发信人: shanshicn (zz), 信区: Chemistry
: 标 题: 那些溶剂可以除去polymer coating?
: 发信站: Unknown Space - 未名空间 (Wed May 4 22:39:30 2005) WWW-POST
: 我有一个silicon sample,表面有层polymer coating (PDDA),试了methanol,acetone 还
: 有piranha etch，都不行，大家一般常用什么呢？多谢。
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