关键IC制造装备国产化获重大突破 - Military版 - 未名存档

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Military版 - 关键IC制造装备国产化获重大突破

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t******t 发帖数: 15246	1 http://www.sypiotech.cn/newEbiz1/240bskyres/filerepository/images/c373e9333a0079598fef5cbac6019c5a.jpg 关键IC制造装备国产化获得重大突破！沈阳拓荆科技有限公司承担研制的国家02重大科技专项暨国产12英寸PECVD样机，近日出厂。这是我国自主开发研制的首台12英寸 PECVD设备。 12 英寸PECVD设备是国际主流薄膜沉积设备，是芯片制造过程中四种最基本、最重要的设备之一。一直以来，12英寸PECVD技术都被欧美以及日本等国家所垄断。此次首台国产12英寸PECVD设备顺利出厂，标志着我国在集成电路高端设备研究和制造领域技术达到了国际先进水平，使我国IC薄膜设备制造水平与国际IC制造业主流技术水平保持同步，完善了国内半导体重要装备的产业链，打破了国外产品的市场垄断和技术垄断，使我国有能力在IC高端设备市场上参与国际竞争，对提升我国IC制造装备的自主创新能力和核心竞争力具有重要的战略意义。据介绍，对于沈阳来说，此次拥有完全自主知识产权的12英寸PECVD设备样机成功研发，则确立了沈阳在全国的集成电路装备研发与制造领域同北京、上海三足鼎立的地位，使沈阳有机会打造一个具有国际水准的IC设备制造公司，这对调整辽沈地区传统产业结构，创造新的经济增长点，推动辽沈地区IC装备制造产业化发展具有重大的意义。记者了解到，沈阳拓荆科技生产4~12英寸PECVD设备技术水平已经到达国际先进水平，首台12英寸PECVD设备在完成客户在线测试后即可实现销售，未来3~5年内有望占有 10%的国际市场，将实现销售额10亿元人民币。（记者李淑梅）责任编辑：张爽
d*****l 发帖数: 8441	2 niu
w*********g 发帖数: 30882	3 不知道国内能不能生产MOCVD/MBE ?
p******u 发帖数: 14642	4 广东昭信半导体【在 w*********g 的大作中提到】 : 不知道国内能不能生产MOCVD/MBE ?
t******t 发帖数: 15246	5 还有做ETCH TOOL的中微半导体，所以说只要再给TG10年时间，产业升级可能可以初步完成。【在 p******u 的大作中提到】 : 广东昭信半导体

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