d********e
发帖数: 661 | 1 不是有人说：由于光刻机技术落后，中国芯片将永远落后吗？
让你们这些洋博士看看国内的土技术。
不论真假，至少有人在吹嘘。
http://bbs.tianya.cn/post-worldlook-1459439-1.shtml
先说一下目前的世界光刻机的现状 。。。目前世界主流的光刻机还是深紫外侵入式光
刻机，在这个光刻机上面 世界占有率最高的是荷兰的一家公司 ，目前荷兰的这家公司
可以把这个技术的光刻机做到14纳米，另外是日本的可以做到18纳米。但是因为深紫外
技术固有的缺点 ，导致不能继续的向更加精度的方向发展。如果想做到10纳米一下 那
么就要用到级紫外技术的光刻机。在这个极紫外技术的光刻机上面的研发荷兰那个公司
领先，日本尼康明显的落后。
下面分别说一下深紫外侵入式光刻机的主要核心技术：
深紫外光刻机用到的光源是深紫外光线，在这个光源上面的研发最牛逼的是德国的
亚深，日本尼康通过收购德国的这个企业获得了这个光源的技术，另外一个技术就是物
镜，深紫外光线要想达到22纳米的水平 那么物镜的数值口径要达到1.35以上。目前德
国的光学公司可以达到，另外日本的尼康通过购买德国的技术也可以达到。达到这个口
径很难。因为这要加工亚纳米精度的大口径的镜片，用到的最大口径的镜片达到了400
毫米，那么在这方面中国的技术如何呢？
进过我的查找 把中国在深紫外光刻机上面的技术水平进行了整理
首先看光源，在深紫外光源上，荷兰的公司和日本尼康都是用的德国亚深公司的光
源，这个深紫外光源是离子束的，，，中国的研发的是世界唯一的固态深紫外光源，这
个要比离子束的高一个水平，主要固态深紫外光源的独特优点是，比较小 这样设计光
刻机比较小巧而且设计的控制设备更加的简单 这样成本更加的低，，还有频带宽 这样
可以用一台光刻机直接做到100纳米到20纳米的几乎所有的节点。这个技术是中国独有
的，小鬼子没有。
另外看物镜，你要想让深紫外技术的光刻机达到22纳米甚至目前的14纳米的顶级极
限水平那么主要改进的就是物镜，物镜的最核心的部件当然就是镜片了，那么中国的物
镜的镜片如何呢？？22纳米水平光刻机用的1.35口径物镜，要用到400毫米的亚纳米精
度的镜片。这个荷兰日本都是用的德国的技术，主要是用磁流变设备和离子束设备辅助
手工加工的，看好了 可是手工哦！！产量很低，加工很慢，成本很高。
而中国发明了全自动的磁流体和离子束机床，可以实现镜片的全自动高速加工，！
！而且可以把亚纳米的镜片最大直径加工到2米！！！这个两个技术是小日子绝对不会
有滴。
另外就是中国的物镜的检测设备，精度达到了0.1纳米，物镜组装台也设计完成，
那么中国自己的深紫外光刻机最近就会出了，最新出的应该是65纳米和45纳米的产
业化光刻机，随后出32纳米和22纳米的，最后出14纳米的。。。这类机床都是一个技术
水准，主要进过该井物镜达到更高的制程。
因为中国即将出的这类光刻机用到了中国独有的固态深紫外激光器光源和亚纳米物
镜自动加工机床，导致中国的光刻机成本有很大的优势，估计可以便宜一半。
更重要的是深紫外固态激光器独特的优势，导致中国的光刻机一台可以覆盖200纳
米到32纳米甚至到15纳米的所有节点，还有由于是独特的世界上唯一实现8倍频的固态
深紫外激光器，那么意味着这个光刻机的产率很高。也就是同样的时间中国的光刻机可
以生产更多的芯片，还有这个固态激光器小巧带来的设计简化还有本事的可靠性导致中
国光刻机的寿命更长 成本更低 可靠性更好 产率更高 价格更低。这些特点会使中国的
光刻机快速的占领14纳米以上的所有光刻机市场。
中国的这类光刻机很快就出现了，估计今年出65纳米的，明年出32纳米和45纳米的
。3年内出22纳米的 ，2020年左右出14纳米的！！ |
d********e
发帖数: 661 | 2 另外 ，光刻机下一步的发展是极紫外光线的步进光刻机，目前的深紫外的极限就是达
到14纳米了，再往下发展很难，会导致设备很复杂，，成本变得很高，目前的荷兰的那
个14纳米的深紫外的由于设计很复杂 导致目前的开价是2亿美元一台！！！
所以10纳米制程一下的要用到极紫外技术了，目前荷兰那个 德国 日本 美国 中国
都是在研发这个技术，除了荷兰出过一个样机以外，世界各国基本都是研发阶段。
极紫外光刻机有很多的难点，主要是物镜的精度更加的高，还有光源的功率的提高
很难，
先说物镜的难点，因为极紫外光线的能量很高，一般的物镜材料不适用，现在使用
的是多层的原子镀膜技术。这个技术很难就是了，还有要使用的反射镜片的精度要达到
变态的0.1纳米。还有要在上面镀上几层的原子级别的薄膜。另外物镜的安装，因为每
次反射光线后都要，从新调整镜片的位置，这个精度调整精度要达到0.3纳米！！！所
有你调整镜片前先要测量镜片的位置，这个测量精度要达到0.1纳米！！！！还要调整
。。。因为受重力和振动的影响，达到0.3的调整精度的物镜的安装平台的设计很难。
。目前世界上 美国还有日本 德国都在研究这个 ，因为保密，基本没有什么具体设计
的资料的公开。
那么在下一代的10纳米的极紫外光刻机上面的研发上中国是什么水平呢？？
先说光源。中国研发极紫外光源不难。因为中国的激光研发已经几十年了，，中国
的光源的技术积累很扎实，不像日本那样要靠买德国亚深的技术，但是研发出极紫外光
源不难，难得是你研发的极紫外光源要比较小可以安装在光刻机上面，还有光源质量要
好，，还有功率要高。。功率要达到100瓦才可以产业化，目前德国亚深可以达到55瓦
，亚深说的很快就会出100瓦的。日本这个通过收购亚深得到了这个技术。
中国07年就研发出了极紫外光刻机光源。是上海光机所研发的，目前中国这个光源
的技术没有公布。
另外分析极紫外光刻机的物镜上面说了 。镜片要大口径的0.1纳米的精度的镜片，
这个中国已经解决了。还要在上面镀上几层的原子薄膜。。。在这个镀膜技术上中国是
世界一流。镀的这个薄膜的理论反射极限是70%中国的可以达到65%!!!!!!!!!!!!
还有物镜的高精度安装平台设计，精度要达到0.3纳米，测量器精度要达到0.1纳米
。测量器中国公布了。是世界水平的0.1纳米的。镜片镀膜技术也是世界水平，安装台
和光源很好见到介绍的资料，这个估计是因为保密原因吧。。
不过在下一代光刻机上面中国的基础研究绝对领先日本！！！！日本的镜片加工是
德国的 光源是德国的 镀膜日本水平一般。。。这几个中国都领先日本
所以不久的将来 中国的22纳米光刻机 14纳米光刻机 32纳米的 45纳米的 65纳米
的 100纳米的光刻机会把小鬼子的同类光刻机赶出市场。。
在下一代光刻机上面中国也会把小鬼子赶出市场。。小鬼子的光刻机在学习德国的
核心技术上面都比不过荷兰。在全面掌握核心技术的中国面前会很快的被打出原形！！
！！！ |
d********e
发帖数: 661 | 3 市场化是07年研发出中国90纳米光刻机的上海微电子公司。。背后的支撑是 中国中科
院的几个光学研究所和几个高校。。。
另外说一下 上海微电子的90纳米光刻机是07年出的，当时还是比较先进的，但是
因为核心的物镜和光源是进口的，外国在后续的产业化上面不给批量供应这些部件。导
致不能产业化。。核心部件不掌握也没有办法升级了。。所以慢慢落后了。日本的尼康
可以从欧美进口最先的技术。中国进口这些顶级的技术很难。。。。
所以中国开始自己研发自己的核心部件和光刻机、另外上海微电子在光刻机整体设
计优化 。。技术上面保持1千多个专利。目前还在一直前段研发布局专利体系。。这主
要是防止外国的专垄断。等中国的核心部件研发完成。。中国的光刻机就可以进入市场
并且独立的进行连续的升级。。因为提前进行了专利布局，，这样西方不能靠专利牵
制中国光刻机的产业化了。。。还有核心技术自己掌握。。这样西方通过禁运，干掉中
国的高端产业也不可能了。。所以高端你自能智力更生。。。不可能买来 |
d******r
发帖数: 16947 | 4 真的假的？尼玛这是多少万亿的产业啊 lol
【在 d********e 的大作中提到】
: 不是有人说：由于光刻机技术落后，中国芯片将永远落后吗？
: 让你们这些洋博士看看国内的土技术。
: 不论真假，至少有人在吹嘘。
: http://bbs.tianya.cn/post-worldlook-1459439-1.shtml
: 先说一下目前的世界光刻机的现状 。。。目前世界主流的光刻机还是深紫外侵入式光
: 刻机，在这个光刻机上面 世界占有率最高的是荷兰的一家公司 ，目前荷兰的这家公司
: 可以把这个技术的光刻机做到14纳米，另外是日本的可以做到18纳米。但是因为深紫外
: 技术固有的缺点 ，导致不能继续的向更加精度的方向发展。如果想做到10纳米一下 那
: 么就要用到级紫外技术的光刻机。在这个极紫外技术的光刻机上面的研发荷兰那个公司
: 领先，日本尼康明显的落后。
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d********e
发帖数: 661 | |
d********e
发帖数: 661 | 6 这是新闻报道的中国亚纳米光学部件加工的画面，看画面中的亚纳米镜片的直径最少要
有半米！！！！荷兰那个14纳米的光刻机最大亚纳米镜片是买的德国的不到半米，是机
床辅助手工加工的，加工很慢，很贵。中国是世界上唯一实现了机床自动加工亚纳米镜
片的国家。画面上那个要超过半米。 |
d********e
发帖数: 661 | 7 真的假的，自己判断；
信不信，自己决定。
我也只是看到而已。
【在 d******r 的大作中提到】
: 真的假的？尼玛这是多少万亿的产业啊 lol
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w*********g
发帖数: 30882 | 8
球差咋整？
【在 d********e 的大作中提到】
: 真的假的，自己判断；
: 信不信，自己决定。
: 我也只是看到而已。
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s********i
发帖数: 17328 | 9 这咋连个帽子都不带，没有头皮屑么？
【在 d********e 的大作中提到】
: 这是新闻报道的中国亚纳米光学部件加工的画面，看画面中的亚纳米镜片的直径最少要
: 有半米！！！！荷兰那个14纳米的光刻机最大亚纳米镜片是买的德国的不到半米，是机
: 床辅助手工加工的，加工很慢，很贵。中国是世界上唯一实现了机床自动加工亚纳米镜
: 片的国家。画面上那个要超过半米。
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d********e
发帖数: 661 | 10 为了新闻联播露头吧。
他们这些人起码是搞这玩意的，即使摆花架势，应该也不会太离谱。
【在 s********i 的大作中提到】
: 这咋连个帽子都不带，没有头皮屑么？
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c******u
发帖数: 739 | 11 以前本科实习的老师傅说最好的零件都是手工加工出来的。机器的精度没有手工的高 |
m********d
发帖数: 502 | 12 摆花架子没用 产出第一批14nm一下的芯片再吹不迟。 |
s*x
发帖数: 8041 | 13 尤其是cpu，得纯手工打造，跑起来倍儿快
【在 c******u 的大作中提到】
: 以前本科实习的老师傅说最好的零件都是手工加工出来的。机器的精度没有手工的高
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z*****u
发帖数: 1875 | 14
纯手工打磨
【在 s*x 的大作中提到】
: 尤其是cpu，得纯手工打造，跑起来倍儿快
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l*******n
发帖数: 635 | 15 陈进啊？
【在 z*****u 的大作中提到】
:
: 纯手工打磨
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h***i
发帖数: 89031 | 16 到最后比手工打磨快不了多少
用激光干涉仪测量
然后用离子枪来轰
要来回好多个循环
【在 l*******n 的大作中提到】
: 陈进啊？
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h***i
发帖数: 89031 | 17 亚纳米测量，干涉仪有好几个干涉基准
这个基准要造得亚纳米
不是一天两天造出来的
【在 h***i 的大作中提到】
: 到最后比手工打磨快不了多少
: 用激光干涉仪测量
: 然后用离子枪来轰
: 要来回好多个循环
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c****g
发帖数: 37081 | |
h***i
发帖数: 89031 | 19 不同的球面曲率，干涉条文非常密集
400毫米的亚纳米测量也不是很好玩的
【在 h***i 的大作中提到】
: 亚纳米测量，干涉仪有好几个干涉基准
: 这个基准要造得亚纳米
: 不是一天两天造出来的
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h***i
发帖数: 89031 | 20 这帮基本是吹牛逼不上税
【在 h***i 的大作中提到】
: 不同的球面曲率，干涉条文非常密集
: 400毫米的亚纳米测量也不是很好玩的
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L********b
发帖数: 347 | 21 下了90纳米的蛋就已经yy到14nm指日可待了 |
l*********u
发帖数: 19053 | 22 good
【在 d********e 的大作中提到】
: 不是有人说：由于光刻机技术落后，中国芯片将永远落后吗？
: 让你们这些洋博士看看国内的土技术。
: 不论真假，至少有人在吹嘘。
: http://bbs.tianya.cn/post-worldlook-1459439-1.shtml
: 先说一下目前的世界光刻机的现状 。。。目前世界主流的光刻机还是深紫外侵入式光
: 刻机，在这个光刻机上面 世界占有率最高的是荷兰的一家公司 ，目前荷兰的这家公司
: 可以把这个技术的光刻机做到14纳米，另外是日本的可以做到18纳米。但是因为深紫外
: 技术固有的缺点 ，导致不能继续的向更加精度的方向发展。如果想做到10纳米一下 那
: 么就要用到级紫外技术的光刻机。在这个极紫外技术的光刻机上面的研发荷兰那个公司
: 领先，日本尼康明显的落后。
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a*****y
发帖数: 33185 | |
t******g
发帖数: 1936 | 24 "即将"这词用得好
【在 d********e 的大作中提到】
: 不是有人说：由于光刻机技术落后，中国芯片将永远落后吗？
: 让你们这些洋博士看看国内的土技术。
: 不论真假，至少有人在吹嘘。
: http://bbs.tianya.cn/post-worldlook-1459439-1.shtml
: 先说一下目前的世界光刻机的现状 。。。目前世界主流的光刻机还是深紫外侵入式光
: 刻机，在这个光刻机上面 世界占有率最高的是荷兰的一家公司 ，目前荷兰的这家公司
: 可以把这个技术的光刻机做到14纳米，另外是日本的可以做到18纳米。但是因为深紫外
: 技术固有的缺点 ，导致不能继续的向更加精度的方向发展。如果想做到10纳米一下 那
: 么就要用到级紫外技术的光刻机。在这个极紫外技术的光刻机上面的研发荷兰那个公司
: 领先，日本尼康明显的落后。
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h*********n
发帖数: 11319 | 25 你不懂就算了
手工的优势是可以iterate，实时修正误差，用较低精度的工具做出高精度的产品
自动化，就不可能iterate。
【在 s*x 的大作中提到】
: 尤其是cpu，得纯手工打造，跑起来倍儿快
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s*x
发帖数: 8041 | 26 为啥自动化就不可能iterate涅？
【在 h*********n 的大作中提到】
: 你不懂就算了
: 手工的优势是可以iterate，实时修正误差，用较低精度的工具做出高精度的产品
: 自动化，就不可能iterate。
|
h*********n
发帖数: 11319 | 27 iterate了就不叫自动化了，叫手工精加工。
【在 s*x 的大作中提到】
: 为啥自动化就不可能iterate涅？
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s*x
发帖数: 8041 | 28 为啥不能把自动化的程序搞成类似人工智能，可以代替人手工操作事的实时判断？
【在 h*********n 的大作中提到】
: iterate了就不叫自动化了，叫手工精加工。
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