f***y
发帖数: 4447 | 1 5纳米，相当于头发丝直径（约为0.1毫米）的二万分之一，将成为集成电路芯片上的最
小线宽。台积电计划明年进行5纳米制程试产，预计2020年量产。最近，中微半导体设
备（上海）有限公司收到一个好消息：其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验
证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一
，中微突破了“卡脖子”技术，让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。
走进位于金桥出口加工区的中微公司，就要换上公司提供的皮鞋，这家精密制造企业要
求一尘不染。在洁净室门外，解放日报·上观新闻记者看到身穿白色工作服、戴着白帽
子和口罩的研发人员，正在测试一台大型设备，它就是全球屈指可数的5纳米刻蚀机。
只见一片片300毫米大硅片被机械手抓起，放入真空反应腔内，开始了它们的刻蚀之旅
。“多种气体会进入真空反应腔，经过化学反应变成等离子气体，随即产生带电粒子和
自由基，与硅片发生化学物理反应。”中微首席专家、副总裁倪图强博士说，这些化学
物理反应在硅片上开槽打洞，形成令人叹为观止的微观结构——一块指甲盖大小的芯片
，可集成60多亿个晶体管。
方寸间近乎极限的操作，对刻蚀机的控制精度提出很高要求。据倪图强介绍，刻蚀尺寸
的大小与芯片温度有一一对应关系，中微自主研发的部件使刻蚀过程的温控精度保持在
0.75摄氏度内，达到国际领先水平。气体喷淋盘是刻蚀机的核心部件之一，中微和国内
企业联合开发出一套创新工艺，用这套工艺制造的金属陶瓷，其晶粒十分精细、致密。
与进口喷淋盘相比，国产陶瓷镀膜的喷淋盘使用寿命延长一倍，造价却不到五分之一。
创新成功的秘诀是什么？2004年，尹志尧博士与杜志游博士、倪图强博士、麦仕义博士
等40多位半导体设备专家创办了中微公司。当时，世界上最先进的芯片生产线是90纳米
制程，但中微创立之初就开始研发40纳米刻蚀机，因为他们深知，集成电路产业技术迭
代很快，必须超前两代开展自主研发。90纳米的下一代是65纳米，再下一代就是40纳米
。拥有国际化团队，也是成功的一大原因。经过海外引进和本土培养，中微600多名员
工来自十多个国家和地区。而且公司的研发团队十分完整，200多人的专业背景覆盖30
多门学科，为刻蚀机研发这一系统工程奠定了基础。
凭借自主创新，中微已申请1200多件国内外专利。“因为有大量专利保护，我们已经历
4次与西方国家企业的知识产权诉讼，未尝败绩。”公司副总裁曹炼生告诉记者。今年1
月，国家知识产权局专利复审委基于中微提交的证据，认定纳斯达克上市公司维易科的
一件发明专利无效。此后，中微经历的第三次诉讼以和解告终——他们和维易科分别在
福建和纽约撤诉，握手言和。
“刻蚀机曾是一些发达国家的出口管制产品，但近年来，这种高端装备在出口管制名单
上消失了。”倪图强表示，这说明如果我们突破了“卡脖子”技术，出口限制就会不复
存在。如今，中微与泛林、应用材料、东京电子、日立4家美日企业一起，组成了国际
第一梯队，为7纳米芯片生产线供应刻蚀机。明年，台积电将率先进入5纳米制程，已通
过验证的国产5纳米刻蚀机，预计会获得比7纳米生产线更大的市场份额。https://
laoyaoba.com/newinfo?id=699308 |
F**o
发帖数: 871 | |
m****d
发帖数: 1 | |
f***y
发帖数: 4447 | 4 真的。直接干掉lam research.
【在 F**o 的大作中提到】
: 尼玛，这是真的？那害怕什么贸易战？
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c****h
发帖数: 4968 | 5 贸易战和禁运是两码事。你可以造了只是第一步，人家可以用贸易战不让你进入自己的
市场。还好中国市场大，世界除了欧美还有很多中等收入国家。
: 尼玛，这是真的？那害怕什么贸易战？
【在 F**o 的大作中提到】
: 尼玛，这是真的？那害怕什么贸易战？
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g******a
发帖数: 778 | 6 只是在刻蚀这一套工序有突破吧，而且这其中用了多少国外设备天知道
【在 F**o 的大作中提到】
: 尼玛，这是真的？那害怕什么贸易战？
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f***y
发帖数: 4447 | 7 和应材
【在 f***y 的大作中提到】
: 真的。直接干掉lam research.
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t******e
发帖数: 2504 | 8 半导体设备分了大致7个种类，刻蚀是其中之一，可刻蚀又分了3类：硅刻蚀，金属刻蚀
和介质刻蚀。 中微搞得是介质刻蚀这一种， 不知道的人还以为中微包打天下呢，
again, 又是典型的overstatement.
还有什么全球首条5nm生产线！ NM, 为了吹自己，把台积电也吹上了，厂房今年初才动
工，到明天上半年才开始试产，后年量产， 连试产都还没有开始，谈何生产线。
另外EUV5nm, 三星也不输给台积电, 根据它的roadmap,5/4nm线也是和台积电同时期，
也是明年试产后年量产。 |
f***y
发帖数: 4447 | 9 老将真算葡萄。
人家通过台机电认证，而且7纳米已经在台机电生产线。况且也不可能等厂房盖好再订
货。
，
【在 t******e 的大作中提到】
: 半导体设备分了大致7个种类，刻蚀是其中之一，可刻蚀又分了3类：硅刻蚀，金属刻蚀
: 和介质刻蚀。 中微搞得是介质刻蚀这一种， 不知道的人还以为中微包打天下呢，
: again, 又是典型的overstatement.
: 还有什么全球首条5nm生产线！ NM, 为了吹自己，把台积电也吹上了，厂房今年初才动
: 工，到明天上半年才开始试产，后年量产， 连试产都还没有开始，谈何生产线。
: 另外EUV5nm, 三星也不输给台积电, 根据它的roadmap,5/4nm线也是和台积电同时期，
: 也是明年试产后年量产。
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t******e
发帖数: 2504 | 10 看不惯一惊一炸的宣传调子， 一个种类的刻蚀，宣传的效果是全部刻蚀。 还有半年才
能试产的转配线，成立首条生产线了。
【在 f***y 的大作中提到】
: 老将真算葡萄。
: 人家通过台机电认证，而且7纳米已经在台机电生产线。况且也不可能等厂房盖好再订
: 货。
:
: ，
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f***y
发帖数: 4447 | 11 介质是光刻机外最复杂的。没十年以上搞不会
【在 t******e 的大作中提到】
: 看不惯一惊一炸的宣传调子， 一个种类的刻蚀，宣传的效果是全部刻蚀。 还有半年才
: 能试产的转配线，成立首条生产线了。
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t******e
发帖数: 2504 | 12 NM， 营收10亿人民币的，就要干掉营收145亿美元的AMAT，不愧为大跃进放卫星的后代。
早就给这些鸟人总结了，有5%说成50%，有25%就说成独一无二，有50%，那牛皮吹得整
个宇宙都放不下了。 |
t******e
发帖数: 2504 | 13 NM， 只要自己会的，就成了最复杂的了。
靠，要是小学生学会了这个逻辑，那4则运算就成了最复杂的数学皇冠了。
【在 f***y 的大作中提到】
: 介质是光刻机外最复杂的。没十年以上搞不会
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z*m
发帖数: 3227 | 14 自从ZTE出丑后天朝的卫星放完一颗又一颗，中科院放了好几颗了。原因很简单，国家
要加大投资，放卫星好骗科研经费。沌沌沌
代。
【在 t******e 的大作中提到】
: NM， 营收10亿人民币的，就要干掉营收145亿美元的AMAT，不愧为大跃进放卫星的后代。
: 早就给这些鸟人总结了，有5%说成50%，有25%就说成独一无二，有50%，那牛皮吹得整
: 个宇宙都放不下了。
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p***n
发帖数: 17190 | 15 根據我十幾年來追蹤 矽三家 claim 的經驗
intel 的claim 最實在
TSMC 也夠實在
Samsung的claim則有韓國特色
，
【在 t******e 的大作中提到】
: 半导体设备分了大致7个种类，刻蚀是其中之一，可刻蚀又分了3类：硅刻蚀，金属刻蚀
: 和介质刻蚀。 中微搞得是介质刻蚀这一种， 不知道的人还以为中微包打天下呢，
: again, 又是典型的overstatement.
: 还有什么全球首条5nm生产线！ NM, 为了吹自己，把台积电也吹上了，厂房今年初才动
: 工，到明天上半年才开始试产，后年量产， 连试产都还没有开始，谈何生产线。
: 另外EUV5nm, 三星也不输给台积电, 根据它的roadmap,5/4nm线也是和台积电同时期，
: 也是明年试产后年量产。
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l********e
发帖数: 3986 | 16 连街道大妈都拿刀开始刻了，中国有希望，中国一定强，哦哦哦哦哦，。。。。 |
c*********d
发帖数: 9770 | |
y**h
发帖数: 3093 | 18 能干刻但还不能光刻有鸡吧用
【在 f***y 的大作中提到】
: 5纳米，相当于头发丝直径（约为0.1毫米）的二万分之一，将成为集成电路芯片上的最
: 小线宽。台积电计划明年进行5纳米制程试产，预计2020年量产。最近，中微半导体设
: 备（上海）有限公司收到一个好消息：其自主研制的5纳米等离子体刻蚀机经台积电验
: 证，性能优良，将用于全球首条5纳米制程生产线。刻蚀机是芯片制造的关键装备之一
: ，中微突破了“卡脖子”技术，让“上海制造”跻身刻蚀机国际第一梯队。
: 走进位于金桥出口加工区的中微公司，就要换上公司提供的皮鞋，这家精密制造企业要
: 求一尘不染。在洁净室门外，解放日报·上观新闻记者看到身穿白色工作服、戴着白帽
: 子和口罩的研发人员，正在测试一台大型设备，它就是全球屈指可数的5纳米刻蚀机。
: 只见一片片300毫米大硅片被机械手抓起，放入真空反应腔内，开始了它们的刻蚀之旅
: 。“多种气体会进入真空反应腔，经过化学反应变成等离子气体，随即产生带电粒子和
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