f***y
发帖数: 4447 | 1 集微网消息，11月21日，上海集成电路研发中心有限公司(ICRD)和北方华创联合宣布，
ICRD采用北方华创NMC612D电感耦合等离子体（ICP）刻蚀机等国产设备完成了14nm鳍式
晶体管自对准双重图形(14nm FinFET SADP)相关工艺的自主开发，各项工艺指标均已达
到量产要求，在集成电路14nm核心工艺技术上取得了重大进展。
ICRD使用国产集成电路设备进行了核心工艺研发，北方华创NMC 612D ICP刻蚀机作为核
心刻蚀工艺设备，其工艺表现将直接影响鳍式晶体管器件的工艺性能和良率，凭借其优
良的刻蚀形貌控制、均匀性控制、较低刻蚀损伤、较高刻蚀选择比等方面的技术优势，
北方华创的NMC612D ICP刻蚀机为相关工艺的成功开发做出了重大贡献,并为5nm SAQP技
术的自主开发奠定了坚实的基础。
NMC612D 电感耦合等离子体刻蚀机在ICRD 14nm FinFET SADP工艺开发中的成功应用，
是ICRD和北方华创战略合作取得的阶段性重大成果，填补了国产高端集成电路设备在先
进集成电路工艺制程领域14nm FinFET SADP刻蚀工艺应用的空白，证明了国产机台的性
能已达到业界先进水平。（校对/图图） |
v**o
发帖数: 4956 | |
b*******t
发帖数: 4756 | 3 14nm足够了。intel 都14nm++++++++++多少年了。
凭现在的技术，干翻美国的半导体产业已经不是大问题了。 |
g**w
发帖数: 16 | 4 如果真的是全部自主知识产权，自己会了14nm，下一步就容易多了。
人家是在攻克5nm啊，希望是真的
【在 b*******t 的大作中提到】
: 14nm足够了。intel 都14nm++++++++++多少年了。
: 凭现在的技术，干翻美国的半导体产业已经不是大问题了。
|
m****d
发帖数: 1 | 5 14nm已经很牛的光刻鸡了，美国日本都造不出来，只会从荷兰买现成的鸡，回家下蛋。
14nm的芯片虽然比不上5nm，但已经满足很多领域，可能比5nm的市场还大，便宜。
别到最后又是一个屁，一点渣都没留下，净被骗子骗去一大笔钱，骗子惯用的伎俩，已
经被骗多次 |
C***S
发帖数: 1159 | 6 这是蚀刻机，不是光刻机。蚀刻机本来就很强，台积电都买国内的。 |
f***y
发帖数: 4447 | 7 Intel在闭大招。无需euv一直干到3纳米。中芯的榜样。
【在 b*******t 的大作中提到】
: 14nm足够了。intel 都14nm++++++++++多少年了。
: 凭现在的技术，干翻美国的半导体产业已经不是大问题了。
|
f***y
发帖数: 4447 | 8 并为5nm SAQP技术的自主开发奠定了坚实的基础 |
c****h
发帖数: 4968 | 9 14nm对大部分工业来讲，已经绰绰有余了。制程是一半，软件，设计是另一半。有了
14nm的平台，土鳖的电子工业又进了一大步。 |
f***y
发帖数: 4447 | 10 这研究所属于华虹。所以说华虹也掌握了14nm。更好消息是10nm也成功了，所以现在研
发5nm。
【在 c****h 的大作中提到】
: 14nm对大部分工业来讲，已经绰绰有余了。制程是一半，软件，设计是另一半。有了
: 14nm的平台，土鳖的电子工业又进了一大步。
|
