n********t
发帖数: 21 | 1 【 以下文字转载自 Programming 讨论区 】
发信人: askagain (aa), 信区: Programming
标 题: 请教：光刻里给定mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？
发信站: BBS 未名空间站 (Mon Apr 5 01:10:04 2021, 美东)
请教：光刻里给定mask形状&尺寸，有什么软件能算出成像？
有什么现成的（开源）软件吗？
想用来做 simulation.
谢谢！ | m****a
发帖数: 1 | | I***8
发帖数: 1 | 3 HFSS
★ 发自iPhone App: ChinaWeb 1.1.5
【在 m****a 的大作中提到】
: Klayout
| m****a
发帖数: 1 | 4 那不是做天线simulation的吗
【在 I***8 的大作中提到】
: HFSS
:
: ★ 发自iPhone App: ChinaWeb 1.1.5
| n********t
发帖数: 21 | 5 你不是做流体机械的么？这玩意你也懂？
【在 I***8 的大作中提到】
: HFSS
:
: ★ 发自iPhone App: ChinaWeb 1.1.5
| m********5
发帖数: 17667 | 6 你是什么类型的光刻, close contact, 接近, 还是投影, EUV, EBL? 线宽多少? 后几
种可以用 GenIsys LAB 有 OPC, 但其实用处有限.
开源的有 SPLAT, SAMPLE, SIMPL, TEMPEST, LAVA 发文章可以用, 找学校问.
如果你是搞制程的, 别浪费你的时间在找其他开源软件上, 那些都是为了解决特定问题
做出来的, 很多都是为了发文章搞的. 实际上这是一个非常复杂的问题, 不仅是光学,
和化学有相当大的关系, 你还需要对胶中的各种扩散过程建模, 显影对最终结果影响
也很大, 你要对显影时候的反应和溶剂扩散建模. 非常复杂, 大厂都有针对自己的模型
, 靠经验数据修正, 这也是三星和台电为啥制程上比intel牛的地方.
【在 n********t 的大作中提到】
: 你不是做流体机械的么？这玩意你也懂？
| m********5
发帖数: 17667 | 7 想了下 LAVA似乎不是开源的, TEMPEST好像也只有核心算法开源, 而且现在居然找不
到了.
学,
【在 m********5 的大作中提到】
: 你是什么类型的光刻, close contact, 接近, 还是投影, EUV, EBL? 线宽多少? 后几
: 种可以用 GenIsys LAB 有 OPC, 但其实用处有限.
: 开源的有 SPLAT, SAMPLE, SIMPL, TEMPEST, LAVA 发文章可以用, 找学校问.
: 如果你是搞制程的, 别浪费你的时间在找其他开源软件上, 那些都是为了解决特定问题
: 做出来的, 很多都是为了发文章搞的. 实际上这是一个非常复杂的问题, 不仅是光学,
: 和化学有相当大的关系, 你还需要对胶中的各种扩散过程建模, 显影对最终结果影响
: 也很大, 你要对显影时候的反应和溶剂扩散建模. 非常复杂, 大厂都有针对自己的模型
: , 靠经验数据修正, 这也是三星和台电为啥制程上比intel牛的地方.
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