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Military版 - 东方晶源国内首台关键尺寸量测设备出机中芯国际

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t******2 发帖数: 1	1 【东方晶源国内首台关键尺寸量测设备出机中芯国际】此次出机的关键尺寸量测设备面向300mm硅片工艺制程，通过先进的电子束成像系统和高速硅片传输方案，搭配精准的量测算法，可实现高重复精度、高分辨率及高产能的关键尺寸量测。进驻中芯国际后，将通过实际产线验证，进一步提升、完善设备性能，向产业化目标整体迈进。
t******2 发帖数: 1	2 制程工艺是否合格，关键就是要看生产制造的芯片是否合格，尤其是良品率非常关键，但是如何实现良品率的提升呢？这就需要用到关键尺寸量测设备。换句话说，代工厂需要对每一个环节进行质量检测，举例来说，淀积的薄膜厚度是否符合制程标准、刻蚀完成后硅片电性参数是否达标等等，这时候关键尺寸量测设备就是必不可缺的。
l*******t 发帖数: 1430	3 又突破一项，赞
r**e 发帖数: 35	4 从asml抄袭的cd measurement? 我印象里asml好像起诉过这个公司，不是赔的破产了么？ https://www.reuters.com/article/asml-china-dfjy-0212-idCNKBS2KH07G
n***j 发帖数: 1747	5 对半导体产业的制裁的确造成了很大的困难，但是给国产产业链厂家宝贵的机会。不然这些国产厂家哪有机会进中芯这种大长啊。以前求着都不定让你进，有现成的成熟的好用的进口的谁会给你试错。现在得合作一起来

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