由买买提看人间百态

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Military版 - ASML的极紫外光的生成机理
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A**a
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锡融化成小球掉下来 > CO2激光打靶小球 > 小球离子化产生13.5nm euv光 > euv被光
罩聚焦采集 > 曝光
简单吧
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