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Military版 - 锡小球离子化时，是发生了内层电子的能级跃迁

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A**a
发帖数: 34

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1. 对就是靠CO2激光的能量打成等离子体等离子体内发生内层电子能级跃迁。技术难
点：CO2能量>EUV 能量效率提高
2. 利用0阶和一阶散射光相干成像可以得到比波长更低的尺寸比如193nm 可以成像
76nm周期性图案
参考衍射光学

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