f***y
发帖数: 4447 | 1 注意只有先进的28nm光刻机需要浸没系统
https://www.laoyaoba.com/n/822029
国产浸没式光刻机关键子系统产业化获新突破
集微网消息，据浙江省税务局网站，近期浙江启尔机电技术有限公司捷报频传，高端集
成电路装备迭代至第8代，高精度液体温控误差不超过正负0.001度，零部件中试基地也
正式启用，组件试验进展顺利。
报道称，启尔机电承担浸没式光刻机浸液控制系统国产化重任，浸液系统则是浸没式光
刻机的四大核心部件之一，此前相关技术长期被控制在少数国际巨头手中。
自2004年以来，启尔机电研发团队通过863计划、重大专项及整机企业上海微电子的持
续支持，对光刻机浸液系统开展了十余年的基础研究和技术攻关，承担相关研究项目10
余项，获得授权发明专利100余项，其中与光刻机浸液系统直接相关的发明专利56项。
企业发展中，还得到来自地方政府的税惠帮扶，作为高新技术企业，2021年启尔机电享
受研发费用加计扣除超6000万元，今年组合式税费支持政策出台后，已享受增值税留抵
退税700余万元，有力支持了企业发展。（校对/乐川） |
t******9
发帖数: 1 | |
X*******1
发帖数: 1 | 3 鳖国最喜欢的就是捷报频传
10
【在 f***y 的大作中提到】
: 注意只有先进的28nm光刻机需要浸没系统
: https://www.laoyaoba.com/n/822029
: 国产浸没式光刻机关键子系统产业化获新突破
: 集微网消息，据浙江省税务局网站，近期浙江启尔机电技术有限公司捷报频传，高端集
: 成电路装备迭代至第8代，高精度液体温控误差不超过正负0.001度，零部件中试基地也
: 正式启用，组件试验进展顺利。
: 报道称，启尔机电承担浸没式光刻机浸液控制系统国产化重任，浸液系统则是浸没式光
: 刻机的四大核心部件之一，此前相关技术长期被控制在少数国际巨头手中。
: 自2004年以来，启尔机电研发团队通过863计划、重大专项及整机企业上海微电子的持
: 续支持，对光刻机浸液系统开展了十余年的基础研究和技术攻关，承担相关研究项目10
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f****e
发帖数: 24964 | |
v*******e
发帖数: 11604 | 5 我老早就说了，不依赖国外产光刻机的制程，中国连90纳米的都没有。
: 可见鳖的28nm确实还是没影的事
【在 f****e 的大作中提到】
: 可见鳖的28nm确实还是没影的事
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f***y
发帖数: 4447 | 6 请问那段文字让你觉得影子都没有？
【在 f****e 的大作中提到】
: 可见鳖的28nm确实还是没影的事
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x******h
发帖数: 13678 | 7
浙江的东西还是要好好看看，他们那的特别喜欢贴牌买个什么技术然后说是自己的
【在 f***y 的大作中提到】
: 请问那段文字让你觉得影子都没有？
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l******t
发帖数: 55733 | |
n********t
发帖数: 21 | 9 耗子点评一下
10
【在 f***y 的大作中提到】
: 注意只有先进的28nm光刻机需要浸没系统
: https://www.laoyaoba.com/n/822029
: 国产浸没式光刻机关键子系统产业化获新突破
: 集微网消息，据浙江省税务局网站，近期浙江启尔机电技术有限公司捷报频传，高端集
: 成电路装备迭代至第8代，高精度液体温控误差不超过正负0.001度，零部件中试基地也
: 正式启用，组件试验进展顺利。
: 报道称，启尔机电承担浸没式光刻机浸液控制系统国产化重任，浸液系统则是浸没式光
: 刻机的四大核心部件之一，此前相关技术长期被控制在少数国际巨头手中。
: 自2004年以来，启尔机电研发团队通过863计划、重大专项及整机企业上海微电子的持
: 续支持，对光刻机浸液系统开展了十余年的基础研究和技术攻关，承担相关研究项目10
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b*******8
发帖数: 37364 | 10 连战连捷 转进呆湾
鳖也中了国民党的毒了
★ 发自iPhone App: ChinaWeb 1.1.5
【在 X*******1 的大作中提到】
: 鳖国最喜欢的就是捷报频传
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: 10
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