由买买提看人间百态
登录
首页
论坛
未名存档
话题女王
小圈子
马甲追踪
版面排名
流量曲线
水枪排名
发帖量曲线
发帖版面饼图
发帖时间柱图
关于本站
帮助
boards
本页内容为未名空间相应帖子的节选和存档,一周内的贴子最多显示50字,超过一周显示500字
访问原贴
Military版
- 国产芯片设备的进展
进入Military版参与讨论
1
(共1页)
m****i
发帖数: 29
1
从国内中标的设备厂商来看,集微网根据招标平台数据整理统计,今年(2022)二季度,
北方华创、中微半导体、芯源微、Tokyo Electron(东京电子)、ASML等企业合计中标
643台设备,其中,国产设备厂商合计中标387台设备。
在光刻环节,ASML中标5台光刻机,占据行业主导地位;上海微电子中标1台步进式光刻
机。据了解,上海微电子SSX600系列步进扫描投影光刻机可满足IC前道制造90nm、
110nm、280nm关键层和非关键层的光刻工艺需求。此外,今年2月,上海微电子成功交
付首台2.5D\3D先进封装光刻机,这对国内集成电路行业有着很大的意义。
在刻蚀环节,北方华创和中微半导体合计中标38台刻蚀设备,超过泛林半导体与东京电
子的总和19台。北方华创中标16台刻蚀设备,分别为上海积塔13台、株洲中车时代1台
、北京大学1台、上海新微半导体1台。北方华创ICP(电感耦合等离子体)刻蚀技术优
势明显,其自主研发的14纳米等离子硅刻蚀机已成功进入主流项目产线。
中微半导体中标22台刻蚀设备,分别为华虹半导体13台、上海积塔8台、株洲中车时代1
台。中微半导体CCP(容性耦合等离子体)刻蚀技术精良,已覆盖65纳米至5纳米,在5
纳米以下也进展顺利,其2021年总共生产交付了298腔CCP刻蚀设备,产量同比增长40%。
在薄膜沉积环节,拓荆科技中标11台薄膜沉积设备,略低于泛林半导体与应用材料的总
和15台。拓荆科技主要产品系列为等离子体增强化学气相沉积(PECVD)设备、原子层
沉积(ALD)设备和次常压化学气相沉积(SACVD)设备,广泛应用于国内晶圆厂14nm及
以上制程集成电路制造产线,并已展开10nm及以下制程产品验证测试。
目前,国内晶圆厂正进入加速建设期,国产设备厂商渗透率虽有所不足,但已开始奋起
直追,光刻、刻蚀、薄膜沉积、涂胶显影等多环节突破,北方华创、中微半导体、拓荆
科技等设备厂商订单激增,进步明显。
1
(共1页)
进入Military版参与讨论
未名新帖统计
// 7月16日
#
版面
帖数(主题数)
-
全站
4871 (796)
1
Military
3777 (569)
2
Stock
341 (51)
3
Joke
117 (17)
4
History
116 (3)
5
Automobile
100 (9)
6
USANews
55 (9)
7
Midlife
45 (1)
8
Headline
41 (41)
9
Dreamer
33 (13)
10
FleaMarket
32 (20)
11
Living
30 (7)
* 这里只显示发帖超过25的版面,努力灌水吧:-)
历史上的今天
faintcat妹妹看进来~~
发表于12年前.
NSC, PD 1/7/2007, EB2, ...
发表于11年前.
[FBA求购]MJVE2 758 MJVM2 ...
发表于6年前.
老生常谈,归与不归
发表于10年前.
【申请】Seattle西雅图 版版主——申请人...
发表于9年前.
宝宝出生,头骨骨折,求祝福
发表于9年前.
求推荐舒缓优美的古典音乐
发表于11年前.
百分之一的北京人上北大 中国网友愤怒(转载)
发表于10年前.
新人带狗狗Bailey来报道
发表于12年前.
全世界最有价值的运动队
发表于10年前.
请问大切诺基的质量如何
发表于6年前.
TNND,军版全是BKC
发表于15年前.
Inception
发表于12年前.
微软的有些家属可真恶心,为了卖保险脸都不要了
发表于10年前.
每周坐高铁的苦逼来说说感受吧!!
发表于9年前.