请教一个大角度ion mill的问题 - NanoST版 - 未名存档

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NanoST版 - 请教一个大角度ion mill的问题

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l**n
发帖数: 1861

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有没有角度大于45度的ion mill？
我们实验中可能需要这样一个ion mill设备
其实，我们的问题是这样的
需要用FIB刻一些图案，然后用ion mill去掉被Ga离子
破坏掉的部分，不知道各位兄弟有什么建议，
谢谢。

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