y*****t
发帖数: 4 | 1 请各位用e-beam evaporator的兄弟姐妹帮我看看怎么办。
我要用e-beam蒸发了Au。设备是新的，但厂家没有提供具体参数。
现在我只有Ａｕ的密度，还缺少以下这些参数:
Tooling, Soak 1/2 Power & Ramp time & Soak time, Max power, 等等。
我在google上用各种词搜
索，也没有哪个网站有这么详细的。
如果哪位高人实验室有类似设备蒸发Ａｕ的具体参数设置，可否共享一下？非
常感谢。 | C********5
发帖数: 194 | 2 You need to decide these parameters all by yourself. If is instrument-
specific. | R****o
发帖数: 22 | |
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