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NanoST版 - 急问:便携式SEM如何?
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话题: sem话题: 分辨率话题: 样品话题: stem话题: here
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1 (共1页)
p****s
发帖数: 25
1
3-5万美元,别人推荐购买,不知道是否好用,本实验室主要研究聚合物纳米粒子在药
物缓释的应用,需要排分辨率在10纳米左右的高质量照片。以前从来没有见过便携式
SEM,请用过的简单介绍一下,非常感谢。
R****i
发帖数: 2387
2
便携式的SEM拍不了那么清楚。
不过聚合物相当男拍啊。

【在 p****s 的大作中提到】
: 3-5万美元,别人推荐购买,不知道是否好用,本实验室主要研究聚合物纳米粒子在药
: 物缓释的应用,需要排分辨率在10纳米左右的高质量照片。以前从来没有见过便携式
: SEM,请用过的简单介绍一下,非常感谢。

S*****n
发帖数: 6055
3
问题是就算正常的SEM,通常也很难达到他要求的分辨率。得高清SEM才行。。。

在药

【在 R****i 的大作中提到】
: 便携式的SEM拍不了那么清楚。
: 不过聚合物相当男拍啊。

R****i
发帖数: 2387
4
分辨率10nm,电子束的理论分辨率得2-5个nm,差不多就是要上百kV的加速电压了。

问题是就算正常的SEM,通常也很难达到他要求的分辨率。得高清SEM才行。。。
在药

【在 S*****n 的大作中提到】
: 问题是就算正常的SEM,通常也很难达到他要求的分辨率。得高清SEM才行。。。
:
: 在药

T****i
发帖数: 2190
5
没听说过。。

【在 R****i 的大作中提到】
: 分辨率10nm,电子束的理论分辨率得2-5个nm,差不多就是要上百kV的加速电压了。
:
: 问题是就算正常的SEM,通常也很难达到他要求的分辨率。得高清SEM才行。。。
: 在药

R****i
发帖数: 2387
6
电子束的分辨率,是由电子束的能量决定的吧。
用德布罗意公式算得,
通常成像的时候还有点损失,要有点折扣。
我的理解没有大问题吧?
不过这个上百kV加速电压是我毛估估的,没有算。
以前在国内的时候,帮老板审文章,TEM,SEM照片看着可疑的,
就看看照片的scale bar,分辨率和电镜的加速电压。
通过这个方法就可以很简单的断定一些电镜照片造假的文章,
然后坚决枪毙掉。国内期刊的照片造假还是挺严重的。

没听说过。。

【在 T****i 的大作中提到】
: 没听说过。。
e****a
发帖数: 117
7
分辨10nm,便携式SEM应该还干不了吧。
T****i
发帖数: 2190
8
在展台使用过,比较好用,但是10nm分辨率的高质量照片应该不行

【在 p****s 的大作中提到】
: 3-5万美元,别人推荐购买,不知道是否好用,本实验室主要研究聚合物纳米粒子在药
: 物缓释的应用,需要排分辨率在10纳米左右的高质量照片。以前从来没有见过便携式
: SEM,请用过的简单介绍一下,非常感谢。

T****i
发帖数: 2190
9
这个估算比较有问题
如果我没把公司名称记混的话,FEI现在能在30KV下得到atomic resolution
他们的照片的scale bar看上去肯定很interesting

【在 R****i 的大作中提到】
: 电子束的分辨率,是由电子束的能量决定的吧。
: 用德布罗意公式算得,
: 通常成像的时候还有点损失,要有点折扣。
: 我的理解没有大问题吧?
: 不过这个上百kV加速电压是我毛估估的,没有算。
: 以前在国内的时候,帮老板审文章,TEM,SEM照片看着可疑的,
: 就看看照片的scale bar,分辨率和电镜的加速电压。
: 通过这个方法就可以很简单的断定一些电镜照片造假的文章,
: 然后坚决枪毙掉。国内期刊的照片造假还是挺严重的。
:

l******u
发帖数: 2314
10
ft这个:“我毛估估的”
哈哈

【在 R****i 的大作中提到】
: 电子束的分辨率,是由电子束的能量决定的吧。
: 用德布罗意公式算得,
: 通常成像的时候还有点损失,要有点折扣。
: 我的理解没有大问题吧?
: 不过这个上百kV加速电压是我毛估估的,没有算。
: 以前在国内的时候,帮老板审文章,TEM,SEM照片看着可疑的,
: 就看看照片的scale bar,分辨率和电镜的加速电压。
: 通过这个方法就可以很简单的断定一些电镜照片造假的文章,
: 然后坚决枪毙掉。国内期刊的照片造假还是挺严重的。
:

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t****e
发帖数: 329
11
怎么可能啊
我拍过SEM照片
可以清楚地看到反相介孔材料的纳米线结构
那些纳米线才8nm左右粗
电压用的是10kv

【在 R****i 的大作中提到】
: 分辨率10nm,电子束的理论分辨率得2-5个nm,差不多就是要上百kV的加速电压了。
:
: 问题是就算正常的SEM,通常也很难达到他要求的分辨率。得高清SEM才行。。。
: 在药

R****i
发帖数: 2387
12
现在电镜的成像技术好了很多,Nano Tech的发展极大的拉动了电镜的需求。
年纪大了,那些公式都忘了,刚才想google一把也没找到,
不知道30kV的电子束的理论分辨率是多少。
不过说能得到atomic resolution实在是难以想象,是不是同时有别的成像技术?

【在 T****i 的大作中提到】
: 这个估算比较有问题
: 如果我没把公司名称记混的话,FEI现在能在30KV下得到atomic resolution
: 他们的照片的scale bar看上去肯定很interesting

l******u
发帖数: 2314
13
Roteki可能记错了。HR-TEM需要200-300KV,但是所谓的HR-SEM都是用20kV以下的。

【在 t****e 的大作中提到】
: 怎么可能啊
: 我拍过SEM照片
: 可以清楚地看到反相介孔材料的纳米线结构
: 那些纳米线才8nm左右粗
: 电压用的是10kv

T****i
发帖数: 2190
14
这个是今年刚公布的结果
2年前的结果是0.5A
google Hitachi S5500

【在 R****i 的大作中提到】
: 现在电镜的成像技术好了很多,Nano Tech的发展极大的拉动了电镜的需求。
: 年纪大了,那些公式都忘了,刚才想google一把也没找到,
: 不知道30kV的电子束的理论分辨率是多少。
: 不过说能得到atomic resolution实在是难以想象,是不是同时有别的成像技术?

S*****n
发帖数: 6055
15
可以
10nm左右的结构用10kv确实能看到,我也看过

【在 t****e 的大作中提到】
: 怎么可能啊
: 我拍过SEM照片
: 可以清楚地看到反相介孔材料的纳米线结构
: 那些纳米线才8nm左右粗
: 电压用的是10kv

R****i
发帖数: 2387
16
嘿嘿,我脑子里可能有部分错误观念。
不过错就是错,认错也不丢人,是吧。
那个Hitachi的SEM我还是知道点的,有吹的成分。
和他们的一个工程师简单聊过,要拍到他们说的最佳分辨率,需要满足很多条件的,
一般情况下是拍不到的,一般验收能拍到200k比较清楚,就认为合格了。
我的一个师姐就在日立的中国那个代理商那里上班呢,公司名字我已经忘了,
到处推销Hitachi的电镜呢。
Hitachi的电镜有一些独有的专利技术,分辨率比JOEL的好,但是贵。

【在 l******u 的大作中提到】
: Roteki可能记错了。HR-TEM需要200-300KV,但是所谓的HR-SEM都是用20kV以下的。
T****i
发帖数: 2190
17
S5500 0.5nm的分辨率是guaranteed的
我以前的实验室有一台,如果达不到分辨率是不可能接收的
现在分辨率主要取决于透镜的球差色差等,加速电压的影响不是主要的,因为电子的波
长远远短于电镜目前的分辨率

【在 R****i 的大作中提到】
: 嘿嘿,我脑子里可能有部分错误观念。
: 不过错就是错,认错也不丢人,是吧。
: 那个Hitachi的SEM我还是知道点的,有吹的成分。
: 和他们的一个工程师简单聊过,要拍到他们说的最佳分辨率,需要满足很多条件的,
: 一般情况下是拍不到的,一般验收能拍到200k比较清楚,就认为合格了。
: 我的一个师姐就在日立的中国那个代理商那里上班呢,公司名字我已经忘了,
: 到处推销Hitachi的电镜呢。
: Hitachi的电镜有一些独有的专利技术,分辨率比JOEL的好,但是贵。

T*M
发帖数: 48
18
我没用过SEM,说错莫怪。
我有点糊涂,你们说的到底是TEM的分辨率还是SEM的分辨率啊?
如果是SEM,是不是分辨率取决于electron probe的大小,和STEM类似?
和detector的关系大么?
如果和STEM类似,如绿洲同学所说,基本是由透镜的球差色差决定的。
不过透镜的色差也是电子波长的函数吧, 还取决于电子的单色性(废话)。
我见过的最好用的SEM,嘿嘿,是把Hitachi HD-2700 STEM当成SEM用,
如果有secondary electron detector的话。
说实话,Hitachi HD-2700 STEM最impress我的就是它的这个功能了
(真是大材小用哈)。
看1 nm 的是肯定不成问题,再低就没试过真的样品了。
估计以它的probe size,(如果分辨率是由这个决定的),那atomic resolution
真是小菜。
用它看一些纳米结构,3D的视觉效果超好。
不过这个信息对楼主无用,因为超出预算太多了。

【在 T****i 的大作中提到】
: S5500 0.5nm的分辨率是guaranteed的
: 我以前的实验室有一台,如果达不到分辨率是不可能接收的
: 现在分辨率主要取决于透镜的球差色差等,加速电压的影响不是主要的,因为电子的波
: 长远远短于电镜目前的分辨率

b*******h
发帖数: 2585
19
说老实话,看起来你们都是外行。
SEM的加速电压,一般最高30K。 SEM的分辨率主要是由样品本身表面二次电子产生率
的反差性质决定的。 其他电子源质量,色差球差也很重要。SEM 的分辨率要比STEM差
很多。
一般的有机样品,能到10NM就很不错了。便携式的很难。不要买。其实你们可以把样
品送给其他SEM实验室看,也不贵。 我敢说很多实验室都达不到你们的要求。
T*M
发帖数: 48
20
哦,是这样啊,谢谢。
我糊涂的是,你指的不是仪器的分辨率, 而是实际对具体样品能测量的精度? 否则按照
你的说法,SEM的分辨率基本是由样品决定的?这怕是不大对头吧。
不过显然你的讨论对楼主更具建设性的意见。
我用STEM看过一些纳米样品(非有机样品)的SEM照片,真的非常漂亮,1nm的形貌特征看
得很清楚,当然前提是样品经得起200keV的电子打击。

【在 b*******h 的大作中提到】
: 说老实话,看起来你们都是外行。
: SEM的加速电压,一般最高30K。 SEM的分辨率主要是由样品本身表面二次电子产生率
: 的反差性质决定的。 其他电子源质量,色差球差也很重要。SEM 的分辨率要比STEM差
: 很多。
: 一般的有机样品,能到10NM就很不错了。便携式的很难。不要买。其实你们可以把样
: 品送给其他SEM实验室看,也不贵。 我敢说很多实验室都达不到你们的要求。

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问个关于TEM的土问题问一个问题
XRD峰宽和晶粒大小符合得有多好?TEM用得好能找什么样的工作啊?
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r******e
发帖数: 244
21
如果真要好的照片,做TEM也可以,把你的纳米颗粒用酒精或者别的
液体做成suspension,然后滴到TEM grid上就行了。如果怕辐射损伤,
在表面镀一层碳膜应该能起保护作用。
m***c
发帖数: 1403
22
辐照损伤是不能通过镀碳解决的,有image,就有损伤

【在 r******e 的大作中提到】
: 如果真要好的照片,做TEM也可以,把你的纳米颗粒用酒精或者别的
: 液体做成suspension,然后滴到TEM grid上就行了。如果怕辐射损伤,
: 在表面镀一层碳膜应该能起保护作用。

s******x
发帖数: 15232
23
你的理解恰恰是对的。
SEM照片的分辨率很大程度是由样品决定的。这也就是为什么sem调焦,矫正色差球差的
时候要用标准样品,因为容易看,成像的分辨率更高,beam可以调整得更好。这样在看
其他样品的时候,这些已经矫正了的因素就不会影响成像的分辨率了。

一般不导电的样品不容易看,所以都要metalize以后才可以看清楚。当然这主要是解决
charging effect。这个解决以后,blackmoth 说的“样品本身表面二次电子产生率的
反差性质决定的”就是真正的关键,因为sem在用se detector的时候的工作原理就是收
集所有的二次电子,然后把总强度转换成该像素的亮度。举个最简单的例子,metallic
nanowire在nonconducting substrate上比在conducting substrate上容易看得多,就
是这个原因。
然后才是加速电压和spot size的影响。
最后是操作者的水平。这个其实不应该算,但是现实中,往往是这个决定了最后的图像
质量.....

【在 T*M 的大作中提到】
: 哦,是这样啊,谢谢。
: 我糊涂的是,你指的不是仪器的分辨率, 而是实际对具体样品能测量的精度? 否则按照
: 你的说法,SEM的分辨率基本是由样品决定的?这怕是不大对头吧。
: 不过显然你的讨论对楼主更具建设性的意见。
: 我用STEM看过一些纳米样品(非有机样品)的SEM照片,真的非常漂亮,1nm的形貌特征看
: 得很清楚,当然前提是样品经得起200keV的电子打击。

T*M
发帖数: 48
24
谢谢你详细的回复。
不过我还是有很多问题
1。一般标准样品是什么?
2。metalize是怎么做到的,在样品上镀金属么?会影响原来样品的
形貌么?
3。如果有悬空的纳米样品,假如一根只有几个原子细的纳米线,
并且解决了charging effect, 是不是只要electron probe比这小,
就很容易得到很高的照片分辨率(因为没有substrate)?
4。如何理解atomic resolution的SEM照片?不同原子产生的二次
电子?那detector的精度可真高啊。这detector是只有特定方向的
一小块还是环绕式的?
5。SEM里样品所处空间的磁场有多高?
我觉得在第一页,象绿洲同学等讨论的是仪器的分辨率,而仪器的
分辨率是一个固定的参数,和样品是不应该有关系的;而后来的
同学指出的都是具体SEM照片的分辨率,which is absolutely
different case by case. 而你说和操作人的关系,这就是一个
大白话,虽然真实得不得了,但是不能搬上台面。
我从没有使用过任何实际意义上的SEM,一直就把它当一个放大镜
看。不过具体到使用肯定还是很多学问

【在 s******x 的大作中提到】
: 你的理解恰恰是对的。
: SEM照片的分辨率很大程度是由样品决定的。这也就是为什么sem调焦,矫正色差球差的
: 时候要用标准样品,因为容易看,成像的分辨率更高,beam可以调整得更好。这样在看
: 其他样品的时候,这些已经矫正了的因素就不会影响成像的分辨率了。
:
: 一般不导电的样品不容易看,所以都要metalize以后才可以看清楚。当然这主要是解决
: charging effect。这个解决以后,blackmoth 说的“样品本身表面二次电子产生率的
: 反差性质决定的”就是真正的关键,因为sem在用se detector的时候的工作原理就是收
: 集所有的二次电子,然后把总强度转换成该像素的亮度。举个最简单的例子,metallic
: nanowire在nonconducting substrate上比在conducting substrate上容易看得多,就

s******x
发帖数: 15232
25

gold
evaporation, or sputtering. just a few nm of Cr or Au or Cr/Au. should not
affect.
理论上不知道。操作上恰恰相反。看过carbon nanotube的都知道suspended的比on (
nonconducting) substrate的不容易看得多。当然有各方面的原因,但是一个原因是
suspended的要求focus和stigmation非常准确,不然就完全看不到了。
这个一般不是用se detector看的,用的是TLD(through lens detector),是环绕在电子
枪头附近的。
5我不知道。

【在 T*M 的大作中提到】
: 谢谢你详细的回复。
: 不过我还是有很多问题
: 1。一般标准样品是什么?
: 2。metalize是怎么做到的,在样品上镀金属么?会影响原来样品的
: 形貌么?
: 3。如果有悬空的纳米样品,假如一根只有几个原子细的纳米线,
: 并且解决了charging effect, 是不是只要electron probe比这小,
: 就很容易得到很高的照片分辨率(因为没有substrate)?
: 4。如何理解atomic resolution的SEM照片?不同原子产生的二次
: 电子?那detector的精度可真高啊。这detector是只有特定方向的

T****i
发帖数: 2190
26
学长好认真啊
现在很多SEM里面都可以采集transmission signal,很多sub nm的分辨率都是在
transmission模式下得到的。这样其实可以算是STEM了。但是没人说过SEM里面加了
STEM holder和探测器它就不能叫SEM。
如果说STEM能的到atomic resolution,这不是什么新奇的事,但是能够在SEM的工作电
压范围1-30kev内(不过是在(S)TEM仪器上)得到atomic resolution,应该是今年的一
个重要突破。

【在 T*M 的大作中提到】
: 谢谢你详细的回复。
: 不过我还是有很多问题
: 1。一般标准样品是什么?
: 2。metalize是怎么做到的,在样品上镀金属么?会影响原来样品的
: 形貌么?
: 3。如果有悬空的纳米样品,假如一根只有几个原子细的纳米线,
: 并且解决了charging effect, 是不是只要electron probe比这小,
: 就很容易得到很高的照片分辨率(因为没有substrate)?
: 4。如何理解atomic resolution的SEM照片?不同原子产生的二次
: 电子?那detector的精度可真高啊。这detector是只有特定方向的

R****i
发帖数: 2387
27
学到很多,纠正很多错误观念。

【在 T****i 的大作中提到】
: 学长好认真啊
: 现在很多SEM里面都可以采集transmission signal,很多sub nm的分辨率都是在
: transmission模式下得到的。这样其实可以算是STEM了。但是没人说过SEM里面加了
: STEM holder和探测器它就不能叫SEM。
: 如果说STEM能的到atomic resolution,这不是什么新奇的事,但是能够在SEM的工作电
: 压范围1-30kev内(不过是在(S)TEM仪器上)得到atomic resolution,应该是今年的一
: 个重要突破。

s******x
发帖数: 15232
28
这样做的话,样品的mount是不是不能按传统的SEM的方法,而要按STEM的方法来,才可
以用这个模式?

【在 T****i 的大作中提到】
: 学长好认真啊
: 现在很多SEM里面都可以采集transmission signal,很多sub nm的分辨率都是在
: transmission模式下得到的。这样其实可以算是STEM了。但是没人说过SEM里面加了
: STEM holder和探测器它就不能叫SEM。
: 如果说STEM能的到atomic resolution,这不是什么新奇的事,但是能够在SEM的工作电
: 压范围1-30kev内(不过是在(S)TEM仪器上)得到atomic resolution,应该是今年的一
: 个重要突破。

T****i
发帖数: 2190
29
用TEM样品
电子束穿不过厚样品

【在 s******x 的大作中提到】
: 这样做的话,样品的mount是不是不能按传统的SEM的方法,而要按STEM的方法来,才可
: 以用这个模式?

s******x
发帖数: 15232
30
果然啊.....
等于就是低加速电压的TEM了

【在 T****i 的大作中提到】
: 用TEM样品
: 电子束穿不过厚样品

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m*****a
发帖数: 369
31
You are wrong

____________________________________________________________________________
Here

【在 R****i 的大作中提到】
: 分辨率10nm,电子束的理论分辨率得2-5个nm,差不多就是要上百kV的加速电压了。
:
: 问题是就算正常的SEM,通常也很难达到他要求的分辨率。得高清SEM才行。。。
: 在药

1 (共1页)
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