求助〕请问电子束蒸发时，样品台需要转动吗？ - NanoST版 - 未名存档

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NanoST版 - 求助〕请问电子束蒸发时，样品台需要转动吗？

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c****a 发帖数: 204	1 求助〕请问电子束蒸发时，样品台需要转动吗？
l*******s 发帖数: 65	2 e-beam? 查查机器手册【在 c****a 的大作中提到】 : 求助〕请问电子束蒸发时，样品台需要转动吗？
l****i 发帖数: 4609	3 no 【在 c****a 的大作中提到】 : 求助〕请问电子束蒸发时，样品台需要转动吗？
s******x 发帖数: 15232	4 看你的目的是什么。一般是需要；但是有些特别的做法，比如利用阴影交叠产生更小的 feature，就不能转。你就想象，在地面上，你需要太阳照到的地方，是希望太阳从一个方向照过来形成的 pattern呢，还是希望太阳象极昼的时候那样，在天空一定的高度上转圈呢？【在 c****a 的大作中提到】 : 求助〕请问电子束蒸发时，样品台需要转动吗？
s******x 发帖数: 15232	5
m*******e 发帖数: 119	6 不是必需.但通常转动样品台会使薄膜更加均匀. 【在 c****a 的大作中提到】 : 求助〕请问电子束蒸发时，样品台需要转动吗？

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