C***r
发帖数: 74 | 1 好像positive resist和PMMA都在加热的KOH中呆不到几个小时，不知道有没有能呆久一
点的，any suggestion is welcome |
m***c
发帖数: 1403 | 2 PTFE(teflon)
【在 C***r 的大作中提到】
: 好像positive resist和PMMA都在加热的KOH中呆不到几个小时，不知道有没有能呆久一
: 点的，any suggestion is welcome
|
C***r
发帖数: 74 | 3 Thanks， 可以涂到wafer上吗
【在 m***c 的大作中提到】
: PTFE(teflon)
|
m***c
发帖数: 1403 | 4 需要很平么，还是说只是想把wafer包住？ 最简单就拿PTFE的胶带缠一层就行了，需
要很平的话，或者惰性气氛下加加热也许就融成一层了
【在 C***r 的大作中提到】
: Thanks， 可以涂到wafer上吗
|
C***r
发帖数: 74 | 5 能包住就够了，谢谢这么好的建议！ 将来要去掉的话，有办法吗
【在 m***c 的大作中提到】
: 需要很平么，还是说只是想把wafer包住？ 最简单就拿PTFE的胶带缠一层就行了，需
: 要很平的话，或者惰性气氛下加加热也许就融成一层了
|
m********t
发帖数: 22 | |
m********t
发帖数: 22 | 7 如果要求不高，把热蜡油涂到表面，凝固后可以防止KOH腐蚀。有专门除蜡的试剂，叫
Opticlear，也可以用类似苯的试剂除掉。 |
c*********5
发帖数: 5813 | 8 spin coat teflon就好了，试过1000A厚度，非常均匀 |
C***r
发帖数: 74 | |
