国内 e beam lithography - NanoST版 - 未名存档

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NanoST版 - 国内 e beam lithography

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相关话题的讨论汇总
话题: beam话题: 国内

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w********g 发帖数: 17	1 请问哪里可以查到国内哪些学校或科研单位有电子束刻蚀 ebeam lithgraphy 的？多谢
c****a 发帖数: 204	2 微电子所,物理所,电工所都有
y***i 发帖数: 148	3 北大
s*****u 发帖数: 8	4 北大物理学院有一台，物理电子所也有一台据说最近微电子研究所也要进两台。。。【在 w********g 的大作中提到】 : 请问哪里可以查到国内哪些学校或科研单位有电子束刻蚀 ebeam lithgraphy 的？ : 多谢

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