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b******o
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1
最近做in situ的SEM imaging,发现当我的device连上外部的电子仪器(例如电压源),
SEM image会有很大的噪音。而我的实验就要求一边加电压一边看SEM的image.
哪位牛人有解决办法帮个忙,多谢多谢。
w********o
发帖数: 10088
2
是因为样品表面接了电源以后很快trap电子?
c**s
发帖数: 80
3
我觉得是grounding的问题。SEM的电子束至少好几个kV,你的device和电压源的ground
和SEMdetector的ground应该一致。
b******o
发帖数: 110
4
多谢指点,今天就去试试
d********a
发帖数: 3698
5
可以换信号。
比如bse,se

【在 b******o 的大作中提到】
: 最近做in situ的SEM imaging,发现当我的device连上外部的电子仪器(例如电压源),
: SEM image会有很大的噪音。而我的实验就要求一边加电压一边看SEM的image.
: 哪位牛人有解决办法帮个忙,多谢多谢。

b******o
发帖数: 110
6
恩,果然是ground的问题,我把device和电压源与SEM的电源接到一起,问题就解决了!
再次感谢大家的指导。
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