请教半导体业界的EPI工艺 - Physics版 - 未名存档

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Physics版 - 请教半导体业界的EPI工艺

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话题: epi话题: 半导体

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F*****e
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请问有人懂半导体业界的EPI工艺吗？有没有推荐的硅基材料的入门资料看？

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