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s******p
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1
有没有wet etch TaN的etchant?
s*******r
发帖数: 921
2
It has to be etched by wet etchant if it is used as metal gate. Just google
it.
【在 s******p 的大作中提到】
: 有没有wet etch TaN的etchant?
1
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Re: poly etch rate 的问题
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