l*****o 发帖数: 82 | 1 请教各位高分子大拿:
如果溶解在氯苯里的PMMA经过spin-coating到基板(如石英片硅片)后,
在Tg以上温度下经过足够时间的焙烘, 还会溶解在氯苯里吗. 如果会,
那会多快呢?(几纳米/分钟?还是几十/几百?)
先谢谢了 | w********h 发帖数: 12367 | 2 不明白你的问题。
PMMA是典型的amorphous聚合物,焙烘对它的溶解性为什么会有影响?
又没有交联。
一开始以为你说聚合物在玻璃态能被溶解么?
答案是当然能,比如PS, 100度的Tg,室温下溶解。
【在 l*****o 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : 请教各位高分子大拿: : 如果溶解在氯苯里的PMMA经过spin-coating到基板(如石英片硅片)后, : 在Tg以上温度下经过足够时间的焙烘, 还会溶解在氯苯里吗. 如果会, : 那会多快呢?(几纳米/分钟?还是几十/几百?) : 先谢谢了
| l*****o 发帖数: 82 | 3 不好意思,我是做lithography的,对聚合物几乎是一无所知。
实验室的标准工艺是将co-P(MMA-MAA)和PMMA先后spin-coating到
硅片上去。每次COATING后都要在Tg以上温度焙烘。
我的问题其实是,由于两种聚合物都是氯苯溶液,后一种聚合物
溶液涂到前一种聚合物薄膜上以后,它的溶剂会不会溶解前一种
薄膜造成两种聚合物在界面附近相当大的厚度区间内互相混合,
肇成界面模糊?
【在 w********h 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : 不明白你的问题。 : PMMA是典型的amorphous聚合物,焙烘对它的溶解性为什么会有影响? : 又没有交联。 : 一开始以为你说聚合物在玻璃态能被溶解么? : 答案是当然能,比如PS, 100度的Tg,室温下溶解。
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