polyimide，PMMA？Re: 新年快乐！请教个问题 - Macromolecules版 - 未名存档

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Macromolecules版 - polyimide，PMMA？Re: 新年快乐！请教个问题

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p*q 发帖数: 7	1 为什么不用polyimide，PMMA（polymethyl-methacrylate），这些应该是MEMS/lithograp hy里广泛使用的微模材料吧？
w********h 发帖数: 12367	2 yeah...I thought of them... but he mentioned very high strength. and I don't know if PI and PMMA dissolve in dimethyl benzene or not. 为什么不用polyimide，PMMA（polymethyl-methacrylate），这些应该是MEMS/lithograp 【在 p*q 的大作中提到】 : 为什么不用polyimide，PMMA（polymethyl-methacrylate），这些应该是MEMS/lithograp : hy里广泛使用的微模材料吧？
l*****o 发帖数: 82	3 PMMA is way too soft. I haven't tried Polyimide but someone told me it may form wavy surface. 【在 p*q 的大作中提到】 : 为什么不用polyimide，PMMA（polymethyl-methacrylate），这些应该是MEMS/lithograp : hy里广泛使用的微模材料吧？
p*q 发帖数: 7	4 我觉得PI和PMMA的强度在电镀过程中没问题，但是不知道它们用在reactive ion etching制模时能否达到lorenzo所要求的tolerance。为什么不用polyimide，PMMA（polymethyl-methacrylate），这些应该是MEMS/lithograp 【在 w********h 的大作中提到】 : yeah...I thought of them... : but he mentioned very high strength. : and I don't know if PI and PMMA dissolve in dimethyl benzene or not. : : 为什么不用polyimide，PMMA（polymethyl-methacrylate），这些应该是MEMS/lithograp

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