w*****9 发帖数: 14 | 1 我的高分子膜用spin coating 的方法涂在金的表面上。想测试不同的spin speed对涂
层的影响。用ellipsomter测定高分子层的厚度。
我第一次用。发现要现输入一个估计值,测试后给出Ψ和Δ,然后软件分析得出的厚度
值跟输入的估计值总是很接近。我试着输入很多不同的值,每次给出的厚度都不一样,
但是Ψ和Δ值没什么变化,但是厚度与估计值类似。请问这到底是怎么回事?而且如何
用Ψ和Δ计算厚度值。 |
D********g 发帖数: 533 | 2 不知道你用的是什么ellipsometry 应该这个估计值不会影响到测量实际值。看看是不
是那个估计值是折射率?这个参数倒是很能影响结果。还有就是注意有的ellipsometry
在膜过厚时 可能需要调整pi/2的相差compensation.
anyway 如果只在对于结果不是很放心 可以找一个简单的模型把delta和psi代进去自己
Matlabt计算膜厚。简单的一层模的model不是很难,也很好编程
【在 w*****9 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : 我的高分子膜用spin coating 的方法涂在金的表面上。想测试不同的spin speed对涂 : 层的影响。用ellipsomter测定高分子层的厚度。 : 我第一次用。发现要现输入一个估计值,测试后给出Ψ和Δ,然后软件分析得出的厚度 : 值跟输入的估计值总是很接近。我试着输入很多不同的值,每次给出的厚度都不一样, : 但是Ψ和Δ值没什么变化,但是厚度与估计值类似。请问这到底是怎么回事?而且如何 : 用Ψ和Δ计算厚度值。
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b*******t 发帖数: 57 | 3 搭便车问一下:ellipsometer测试对底物(膜材料)粗糙度有什么要求?
普通高分子薄膜如硅橡胶膜、聚氨酯膜表面接枝聚合物是否能通过此方法来测接枝厚度
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y***e 发帖数: 6082 | 4 surface太粗糙,仪器会罢工的
搭便车问一下:ellipsometer测试对底物(膜材料)粗糙度有什么要求?
普通高分子薄膜如硅橡胶膜、聚氨酯膜表面接枝聚合物是否能通过此方法来测接枝厚度
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【在 b*******t 的大作中提到】![](/moin_static193/solenoid/img/up.png) : 搭便车问一下:ellipsometer测试对底物(膜材料)粗糙度有什么要求? : 普通高分子薄膜如硅橡胶膜、聚氨酯膜表面接枝聚合物是否能通过此方法来测接枝厚度 : ?
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