5nm刻蚀机有了，光雕机要加油 - Military版

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w*****4
发帖数: 1

中微半导体公布了该公司产品的最新进展，其中等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从
65nm到14nm、7nm和5nm的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用。
此外，中微半导体的MOCVD（化学气相沉积(）设备在行业领先客户的生产线上大规模投
入量产，公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基LED设备制造商。
中微半导体表示，今年上半年，中微公司刻蚀设备产品保持竞争优势，批量应用于国内
外一线客户的集成电路加工制造。此外，公司已成功取得5nm逻辑电路、64层3D NAND制
造厂的订单。
在验证顺利的情况下，公司将紧跟客户的生产计划、量产需求有序制定生产计划。
中微半导体的主力产品就是蚀刻机，这也是半导体制造中最重要的设备之一，用来在芯
片上进行微观雕刻，每个线条和深孔的加工精度都是头发丝直径的几千分之一到上万分
之一，精度控制要求非常高。
中微所说的5nm蚀刻机进入5nm供应链也不让人意外，实际上该公司去年就发布了相关消
息了，旗下的蚀刻机已经获得了台积电的认证，后者的5nm生产线上就会使用中微公司
的蚀刻机。

a***e
发帖数: 27968

想多了，根本不是一个类型和级别的设备。MOCVD一台就是1M刀的水平，刻蚀机也差不
多。光刻机是30M起

★ 发自iPhone App: ChinaWeb 1.1.5

【在 w*****4 的大作中提到】

: 中微半导体公布了该公司产品的最新进展，其中等离子体刻蚀设备已在国际一线客户从
: 65nm到14nm、7nm和5nm的集成电路加工制造及先进封装中有具体应用。
: 此外，中微半导体的MOCVD（化学气相沉积(）设备在行业领先客户的生产线上大规模投
: 入量产，公司已成为世界排名前列、国内占领先地位的氮化镓基LED设备制造商。
: 中微半导体表示，今年上半年，中微公司刻蚀设备产品保持竞争优势，批量应用于国内
: 外一线客户的集成电路加工制造。此外，公司已成功取得5nm逻辑电路、64层3D NAND制
: 造厂的订单。
: 在验证顺利的情况下，公司将紧跟客户的生产计划、量产需求有序制定生产计划。
: 中微半导体的主力产品就是蚀刻机，这也是半导体制造中最重要的设备之一，用来在芯
: 片上进行微观雕刻，每个线条和深孔的加工精度都是头发丝直径的几千分之一到上万分

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