x******u
发帖数: 15 | 1 请问电子束光刻得光刻胶和显影液得名字是什么呀，越详细越好。
谢谢了。 | s*n
发帖数: 2603 | 2 不是大牛，PMMA比较常用，high resolution, good adhesion, not sensitive to
room light, not good etching
resistivity though. u can use 495k or 950k PMMA and using the dedicate PMMA
developer. There are
many other types of ebeam resist and you can just simple google or search
the literature.
【在 x******u 的大作中提到】
: 请问电子束光刻得光刻胶和显影液得名字是什么呀，越详细越好。
: 谢谢了。
| x******u
发帖数: 15 | | b*********s
发帖数: 623 | 4 Positive PR: PMMA
Negative PR: SU8
【在 x******u 的大作中提到】
: 请问电子束光刻得光刻胶和显影液得名字是什么呀，越详细越好。
: 谢谢了。
| s*****t
发帖数: 1 | 5 ebeam: MMA, PMMA, ZEP etc.
PL: 1805, 1818, SU8 etc. | l***h
发帖数: 1 | 6 电子束正胶：PMMA，显影MIBK：IPA一般是1：3，定影IPA
ZEP520，显影用对二甲苯，定影IPA
电子束负胶：HSQ
【在 x******u 的大作中提到】
: 请问电子束光刻得光刻胶和显影液得名字是什么呀，越详细越好。
: 谢谢了。
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