请问刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄，是什么原因？ - NanoST版 - 未名存档

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NanoST版 - 请问刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄，是什么原因？

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话题: 刻蚀话题: 沟槽话题: 宽度

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d*******2 发帖数: 340	1 用尼康i12投影光刻，刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄，请问一般是什么原因？曝光显影不足吗？先谢了！
d*******2 发帖数: 340	2 用尼康i12投影光刻，刻蚀出来的沟槽宽度比预期的窄，请问一般是什么原因？曝光显影不足吗？先谢了！
e******l 发帖数: 12	3 曝光时间不足，focus 不好， develop 时间不够，或者photoresist太厚了，都有可能。。。。。

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