一个silvaco athena的问题 - EE版

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EE版 - 一个silvaco athena的问题

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相关话题的讨论汇总
话题: silvaco话题: si话题: athena

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o**n
发帖数: 1249

我想simulate一个SOI的process，什么办法最方便construct一个SOI呢？比如说1um Si
on SiO2，因为device都在1um Si上，自然想用从Si作为最初的材料，这让容易设grid
，但底下的SiO2怎么加上去呢？deposit命令只能在上面加material吧。多谢帮助！

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