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发帖数: 15246 | 1 “高NA浸没式曝光光学系统关键技术研究”、“极高精度光学元件与系统检测技术研究
”及“极紫外投影光刻关键技术研究”等项目，是国家下达的重大的科技专项任务（第
一期经费10亿元），其最终目标是掌握超大规模集成电路制造产业核心装备--DUV及EUV
投影光刻机曝光光学系统的研制与生产能力。
DUV及EUV投影光刻曝光光学系统是目前人类所能研制的最为复杂、最为精密的光学
仪器，其研制过程涉及到光学材料、光学设计、光学加工、光学检测、光学镀膜、光机
结构与光学装校等应用光学所有单元技术，且需将上述单元技术发挥到当前发展的极限
水平。
竭诚欢迎2009年优秀应届毕业生加入上述科研项目的研究团队，肩负历史使命，共
同迎接与完成国家与民族交付的这一极具挑战性的研究任务！ 有志从事最尖端应用光
学研究的年青朋友们，来应用光学国家重点实验室重大专项锻炼与发展，将是实现你们
人生价值的最佳选择！
志存高远，心细如丝
——勇攀精密工程光学领域新高峰
长春光机所 李晶
拉面想必大家都吃过，但知道最细的拉面有多细么？创造吉尼斯记录之最细的拉面，可
以三十根同时穿过针眼。米上刻字，大家也都熟悉，在小小的米粒上刻上一篇篇美文，
其技术之精湛另人叹为观止。而我们科研团队现在所做工作的精密程度，却是这些工艺
都无法企及的。人们常说“心细如丝”，就是用发丝形容心思之细密。一根正常成年人
的发丝的直径大概是45微米，而我们要研制的光刻机的分辨率要求达到45纳米及以上，
相当于千分之一头发丝的细度。
没错，我们科研团队承担的就是“十一五”国家02专项。作为16个重大专项之一，02专
项被赋予了沉甸甸的历史使命：制造出我国拥有核心技术的光刻机。说起大规模集成电
路，大家并不陌生，我们每个人每天使用的电脑里就有，但你知道么？我们身边如此稀
松平常之物，竟是基本靠进口满足需求的。也许有人会说，不对啊，我们有自己的品牌
，前些年联想公司不是还收购了IBM公司的PC机业务么？但事实却是，虽然我们可以自
己生产电脑，但电脑的心脏——CPU只能依靠进口，而我国每年进口芯片的支出甚至超
过了石油的进口总额。为了不再受制于人，能够拥有我们具有关键技术的光刻机，制作
出“中国芯”，党和国家高瞻远瞩，设立了02专项，重点攻克这一难题。
这一项工作一旦完成，不仅仅是填补国内空白，更是跻身国际尖端。其中的难度可想而
知。由于早年资金紧张，我国的集成电路装备技术落后于被世界先进水平3— 4代，做
个不太恰当的比方，如果说国际先进水平处于飞机大炮的阶段，我国的技术恐怕也就是
大刀长矛。如若靠进口，我们自然可以轻松拥有飞机大炮，但我们立志要拥有关键技术
，走原始创新之路，就必须进行自己的科技革命。
我们每个人都是这场革命中的斗士。无论是前期的申请论述阶段，还是现在项目开端，
我们成员的付出常人难以想象。还记得2008年盛大的北京奥运会开幕式么？作为东道主
，所有国人都为之骄傲，万众瞩目，可我们年轻的科研人员做贡献的对象并非收视率，
而是项目，直到深夜一点才结束工作会议。
作为新时代的工程精密光学人，我们不仅要志存高远，更要心细如丝。志存高远，心细
如丝，是一种明亮而不刺眼的光辉，是一种圆润而不逆耳的音响；志存高远，心细如丝
是一种不再需要对别人察颜观色的从容，是一种终于停止向周围申诉求告的大气；志存
高远，心细如丝是一种不理会哄闹的微笑，是一种洗杀了偏机的淡漠；志存高远，心细
如丝是一种无需生长的厚实，是一种并不陡峭的高度。志存高远，心细如丝是抑张有度
，是荣辱不惊。
高精度6inchF/5.4球面标准具结构研究与设计
田伟 史振广 隋永新 杨怀江
【摘要】：193nm光刻投影物镜光学元件面形精度为纳米级,因此要求检测精度为纳米到
亚纳米级。在高精度的光学元件面形检测中,为了保证检测的精度,干涉仪标准球面镜的
精度要优于λ/40。根据检测要求,设计了一种新的标准镜装卡结构。采用有限元方法分
析了参考面在重力作用下的面形变化情况,其最大面变形变化峰谷(PV)值仅为4.88nm,均
方根(RMS)值为1.04nm。同时对不同环境温度下参考面的变形进行了计算得出面形的峰
谷值和均方根值。利用标准具面形的Zernike系数,得到了标准具系统的MTF,以实现标准
具在重力作用下的像质评价。结果表明,所设计的标准具的结构可以满足标准具的设计
要求。最后设计了差动螺钉驱动误差补偿机构。 | t******t
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